臭氧发生器主要由原料进气系统、遍压变频系统、干燥系统、冷却系统、放电系统和控制系统组成。原料气经干燥后进入放电室，放电室中有5组20根放电管，输入电压经升压变频后送至放电管，原料气中的氧气经高压中频放电后电离为臭氧。放电管为内腔的复合管道，内管由非玻璃放电棒与接地不锈钢内壳组成，用于放电和进出气体，外管为不锈钢管，用于通冷却水，进而带走放电后产生的大量热量。具体的电离作用公式为：

3O²—2O³。
设备采用了液化空气纯氧作为原料气，减少了空压泵站等附属设备，提高了生产效率。
二、臭氧发生量的调节
臭氧发生量的调节可以分为手动和自动两种。自动调节需另配在线仪表与控制系统形成闭环控制回路。臭氧的产量取决于气体流量和电流的大小，与冷却介质的温度也有一定的关系。
三、使用和维护的注意事项
臭氧发生器的控制面板采用触模式液晶显示屏，使用方便，设备的维护也比较简单，但有几点必须注意：
1.保证气体的干燥
a.露点<-60℃
b.碳氢化和物含量<15ppm
2、保证冷却水的正常供应
3.必须时刻注意安全
臭氧发生器是一种十分先进的产品，但仍存在着由于使用不当、维护不好、材质更换等原因而导致危险的可能。危险的来源有：氧气、臭氧、机械为线、电及空气压力等。臭氧用作原料气时，由于其有助燃并加速燃烧的特性，因此如果通风不好、设备内部或外部管线泄漏、或打开含氧系统都可能使氧浓度上升至危险的水平。氧浓度升高增加了火警危险。为此，特别禁止明火，不准使用油布，氧接触设备不能与油和黄油接触。