洁净室空气过滤器的原理和温湿度要求对洁净室的空气质量以及温湿度控制是洁净室的设计与维护的重要课题。本文介绍了洁净室控制的一般原理及温湿度控制的基本要求。

1．空气过滤原理

洁净室空气是靠进风系统将气流“活塞”般的挤压进入，气流通过初效过滤器，然后再经中效过滤器，然后经过高效或超高效过滤器，将洁净空气传入洁净室，使洁净室空气尘粒迅速达到相应洁净室标准要求，并且把洁净室内污染排出。为考虑节能，排出的污染空气经过回风后，再经过高效或超高效过滤器传入洁净室。

2．温湿度要求

洁净室空气温湿度的要求由以下综合确定：

（1）对人的舒适性，以人穿着不同洁净服情况下充分发挥工作效率，一般温度以21OC~24OC较适宜，若洁净服要求严，则20OC~22OC，波动＜1.5OC，湿度30%~70%；

（2）工艺的要求；

（3）经济性，温湿度及相对湿度夏天越低，冬天越高，则空气处理能耗越大。

当前微电子工厂洁净室对温湿度的参数大致范围是：温度为24OC+/-1~2OC，要求严的为22OC+/-0.3~0.5OC。湿度为45%+/-5%~10%,要求严的为43%+/-3%。要求全年维持。