提供者:厦门良厦贸易有限公司 发布时间:2023/2/10 13:48:54 阅读次数:2591次 进入该公司店铺
据技术部2月10日13点18分透露:导读: 抗腐蚀性气体 ER100D/ER100DC干式真空泵#2023动态已更新 http://www.app17.com/c133951/products/d11760936.html
同型号干式真空泵中的顶节能,小型・轻量。
限压力时的耗电量:400W
占地面积:0.11m2
重量:60Kg
■根据客户的需要,提供相应的规格。
ER100D:适用于轻负载洁净工艺的排气
ER100DC:使用了耐腐蚀能力强的材料,可排腐蚀性气体
用途
・洁净排气
・溅射装置的排气
・分子泵等高真空泵的辅助泵
・装载室,搬送式排气
・小型实验设备的排气
・吸附・ 搬送
・分析
・测量仪器的排气 ・型炉排气
・电子枪,离子源的排气
| 型式 | ER100D/ER100DC(耐蚀型) | |
| 排气速度 (L/min) | 1670 | |
| 限压力 (Pa) | 5.0 | |
| 限压力时所需电力 (W) | 400 | |
| 电源 | 电压 (V) | 200-220 |
| 频率 (Hz) | 50/60 | |
| 相数 | 三相 | |
| 电源容量 (kVA) | 3.2 | |
| N2 吹扫用气体流量 (Pa・m3/s) | 17-20 | |
| 冷却方式 | 水冷 | |
| 冷却水量 (L/min) | 1.5-3.0 | |
| 冷却水温度 (℃) | Max. 30 | |
| 重量 (㎏) | 60 | |
[对应气体种类]
由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。........................................................................
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