提供者：厦门良厦贸易有限公司 发布时间：2023/2/10 13:48:10 阅读次数：2637次 进入该公司店铺
据技术部2月10日13点18分透露：报道：涡轮分子泵 TG350F2023已更新报价 http://www.app17.com/c133951/products/d11761743.html
全方位安装
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■轻巧设计
■节能
■迅速启动
■使用破控功能可迅速停止
■耐大气冲击能力强
■多种通信模式
■符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE
用途
・半导体制造
・电子枪排气，离子源排气
・FPD制造
・表面处理，表面改质
・各种电子部件的制造
・分析，试验装置
・管球制造，光学部件制造
・加速器，放射线设施，核聚变研究
・热处理
・研究开发
※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。
| 吸气口法兰 | VG100 CF100 ISO-R100 | |
| 排气速度 | VG/ISO-R・CF N2 (L/s) | 350/330 |
| VG/ISO-R・CF N2(附加金属保护网) (L/s) | 330/310 | |
| VG/ISO-R・CF H2 (L/s) | 210 | |
| 大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 2×103 | |
| 限压力 | Pa/Torr | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| 大气体流量※1 | N2 (sccm) | 500 |
| 启动时间 | (min) | 2-2.5 |
| 停止时间 | (min) | 5-6.5 |
| 允许辅助压力 | (Pa/Torr) | 260/2 |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧80 |
| 安装角度 | 任意 | |
| 重量 | VG･ISO-R/CF(kg) | 4.2/6 |
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