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厦门芯磊贸易有限公司

第7年

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报道:涡轮分子泵 TG350F2023已更新报价

发布时间:2023/2/10 13:48:10关注度:2641

据技术部2月10日13点18分透露:报道:涡轮分子泵 TG350F2023已更新报价 http://www.app17.com/c133951/products/d11761743.html
全方位安装

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■轻巧设计

■节能

■迅速启动

 ■使用破控功能可迅速停止

 ■耐大气冲击能力强

 ■多种通信模式

 ■符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半导体制造
・电子枪排气,离子源排气
・FPD制造
・表面处理,表面改质
・各种电子部件的制造
・分析,试验装置
・管球制造,光学部件制造
・加速器,放射线设施,核聚变研究
・热处理
・研究开发

※排放腐蚀性气体时,请选择耐腐蚀性的TG-M,TG系列。

吸气口法兰VG100
CF100
ISO-R100
排气速度VG/ISO-R・CF N2 (L/s)350/330
VG/ISO-R・CF N2(附加金属保护网) (L/s)330/310
VG/ISO-R・CF H2 (L/s)210
大压缩比N21×108
H22×103
限压力Pa/Torr<1×10-6/<7.5×10-9
大气体流量※1N2 (sccm)500
启动时间(min) 2-2.5
停止时间(min)5-6.5
允许辅助压力(Pa/Torr)260/2
推荐辅助泵(L/min)≧80
安装角度任意
重量VG・ISO-R/CF(kg)4.2/6

原创作者:厦门芯磊贸易有限公司




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