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影响洁净室设计 建造成本的十五个因素12

提供者:浙江苏净净化设备有限公司   发布时间:2015/9/28 10:10:21  阅读次数:334次  进入该公司店铺

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对于给定的速度,当微粒移动的方向垂直于磁场方向时,磁力是最大的,当与磁场方向平等运动时,磁场力为零。

  在大多数基本水平,移动电荷之间的相互作用产生磁力,就象静电产生于导电电荷与其他导电电荷(不论他们是否运动)之间的相互作用。

  通过对行星的拍照研究表明,由于地球的放置和它熔化的金属内核使得它有一个强大的磁场。磁通量的密度(替代“牛顿的每安培米”)有它自己的单位---特斯拉。地球表面的磁场近似代表值是二分之一高斯,大约是200,000特斯拉。在对公众开放的区域内,职业安全和健康要求磁场强度不能大于5个高斯。

洁净室的磁场防护是十分昂贵的。例如,洁净室使用4到5毫米厚的磁性(铁--硅)钢板(M15型)作为屏蔽材料仍不能满足要求。当前的半导体、度量衡和通讯实验室区域内要求磁通量的强度限制在0.05高斯或更低。

  曾经有一个非常昂贵的洁净室在建成后不久就关闭了,因为它所在的位置有很高的磁通量。另一个洁净室失败因为安的生产地板下面埋了几英尺的一条高容量的高压电缆。再一次强调,如果在项目的开始对这些因素进行评估,可能会找到解决措施并且节约时间和成本。事实上,磁场屏蔽的成本也是应该考虑的。

  11. 空气和物体表面的静电荷。花费因素变量:0.0327至0.12

“静电”是由于两个独立的表面相互接触而产生的。不同表面产生的电荷,如果不能以足够快的速度传导到地面,那么它们会聚集并散布在材料的表面----这就是“静电”。

  工业范围很多区域内残余的静电荷,会造成危险并引发问题。它能引起的燃烧和人体触电。它能使薄的薄膜和轻纤维粘连、吸附空气中的尘埃和碎片、损害半导体设备和干扰微电子设备的运行。

  关于水蒸汽和粉尘的危险与两方面的因素有关,其一是与电容储存能量相关,涉及到最小起爆能;另一方面是与最小间距的破坏电压相关,这可以引发着火。

  典型的,一般碳氢化合物气体或空气混合物的最小起爆能是0.2 毫焦耳,并产生至少几千伏的击穿电压。对于粉尘,最小起爆能是几毫焦耳。

  静电荷放电引起的震动大约在1毫焦耳时是可以辨别的,当震动在10到100毫焦耳范围内时很可能使人感觉不舒服。1焦耳以上的能量将引起人体主要肌肉的收缩。当静电作用力与重力或其他约束力相当时,将产生机械操作难题。这与局部电场的引力有关,因此,绝缘体与表面电荷密度有关。

  一般情况下,静电作用力是微弱的,但是当电荷密度小于几毫焦耳10-7/㎡时,灰尘就将被吸附在它的表面。人们进行正常的活动时会产生静电,例如在地毯上行走、从椅子上站起、磨擦衣服的表面等。在湿度较低的环境和广泛使用人造纤维的环境,产生静电荷更高。身体电压可高达到15千伏。

  通过带电织物、带电体、手持金属物体等可进行静电放电。这些静电放电可能产生高电压,能够越过设备外包装内的几毫米空隙直接进入内部电路。放电可产生几安培的电流,使频率上升到几百兆赫---特别是金属导体充当放电源时。

  静电对于半导体设备的危害取决于设备的类型和设计方案。互补金属氧化物半导体(CMOS)设备和精细几何结构特别容易受影响。尽管损害很可能与放电能量和电压有关,但风险的表示方式与“人体模型”放电电压有关。经验表明大约在50伏特时,损害的灵敏度降低。微电子系统混乱所产生的问题通常也被表示成与人体模型放电有关。系统必须能经受几千伏特的电压(不受控制的环境应在15千伏特以上),因为在正常工作环境中,人们在地板上走动等活动能很轻易的产生高电压。

  为了减少风险,避免潜在的问题,必须确保能够比产生静电荷更快的速度将其驱散。对酝标准的手工操作和人体活动,电荷的衰减时间必须是0.25秒或者更少。与风险控制有关的新观念是,如果静电荷遇到高电容的某种材料,那么表面电压就会降低,于是潜在的问题和损害就可以防范。许多公司已经采取一些措施来预防静电,例如安装导电地板或导电的袋子来储存和传送零部件。

  避免因静电放电对微电子系统产生影响的最基本的方法是,将设备安放在良好的静电和磁场屏蔽场所内,恰当减少所有的输入和输出连接。

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