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层流洁净工作台检查及测试项目

提供者:青岛润泽电子净化设备有限公司   发布时间:2015/5/20 10:10:00  阅读次数:1806次  进入该公司店铺

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石**
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风机运行噪音测试:按单向流洁净室标准≤65dB(A),测点在距工作台外壁1m处,且在操作人员耳朵的高度上。洁净工作台测试风速测试:必须保证风速仪探头距离高效过滤器出风面20—30mm以内的平面上,取测点风速值的算术平均数。洁净工作台平均风速0.45m/s。

序号

洁净工作台检查、测试标准及方法

洁净工作台检查、测试结论

1

风机运行噪音测试: 按单向流洁净室标准

≤65dB(A),测点在距工作台外壁1m处,且在操作人员耳朵的高度上。

符合标准□

不符合标准□

2

洁净工作台测试风速测试:必须保证风速仪探头距离高效过滤器出风面20—30mm以内的平面上,取测点风速值的算术平均数.

洁净工作台平均风速0.45m/s

符合标准□

不符合标准□

3

洁净度级别测试:采样量大于1L/min,最少采样点数= 工作台面积(m2)0.5;采样点位于工作面高度上,洁净度级别为美国联邦标准209E(0.5μm≤100颗粒数/ft3,5.0μm=0颗粒数/ft3)。

符合标准□

不符合标准□

层流洁净工作台检查、测试结论

合格□

不合格□

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