探针台选型的参数要求_行业标准_仪器仪表技术文献

探针台选型的参数要求

提供者：深圳市森东宝科技有限公司发布时间：2015/4/9 12:39:52 阅读次数：920次进入该公司店铺

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手动探针台选型方法

通常需要确定以下问题来确定探针台的选型：
1、最大需要测几英寸的晶圆或者器件？
2、探针台机械精度要求多高？
3、点测样品的尺寸规格为多少？100um*100um或60um*60um的pad，还是FIB制作的mini pad，还是ic内部的metal？
4、最多需要几根探针同时去点测？
5、是否会用到探针卡？
6、光学显微镜的最小分辨率需要用到多少？
7、显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？
8、探针点测时，对电流的要求是否达到100fa或者以下？低电容的要求是否要做到0.1pf？是否有射频的需求？
9、接驳的测试仪器接口有哪些？
10、测试环境时是否会需要加热或者降温？
11、对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？
12、是否需要防震桌？
13、若添置防震桌，是否有压缩空气？

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