一、概述

真空技术是建立低于大气压力的物理环境，以及在此环境中进行工艺制作、物理测量和科学试验等所需的技术。真空技术主要包括真空获得、真空测量、真空检漏和真空应用四个方面。

二、物理吸附中真空度的必要性

在物理吸附测试中，核心检测值为“吸附量”，而吸附量的获得是通过吸附前后压力的变化量获得。对于微孔材料而言其吸附的过程往往在极低的相对压力下（3*10-8）即可发生，

为获得极低压力区间的“吸附量”，必要的前置条件就是测试环境的极低真空，真空条件达不到测试要就，就无法测量起始低压力段的“吸附量”。

三、真空技术在物理吸附测试中的应用

为了保证真空系统能达到和保持工作需要的真空，除需要配备合适的、抽气性能良好的真空泵以外，真空系统或其零部件还必须经过严格的检漏，以便消除破坏真空的漏孔。对于超高真空系统，除必要的检漏外，对压力探测系统的要求更高。对于复杂气路系统而言，需对更多环节提出更高的要求。

在物理吸附测试过程中需要进行进气、出气、抽真空、压力探测等多个过程，为实现各个过程的连续可控，即需要复杂的气路结构和大量的电控气路元件，进而产生了大量的“可漏气点”，对于各个连接和可开启部位的真空结构控制往往需要严格的技术处理，主要处理技术如下：

1、电磁阀高真空气密性隐患排除

2、高真空气路结构及气路连接点处理

在可漏气隐患完全排除的前提下，我们还需要拥有完善的真空实现系统，即涡轮分子泵组，使系统达到预期的“极限真空”。

在系统可达到预期的“极限真空”条件下，可进行物理“吸附量”的测量，测量过程中就需要真空系统中另一项核心技术，即压力检测技术。