提供者:福建佰胜流体控制有限公司 发布时间:2022/11/10 13:46:31 阅读次数:2614次 进入该公司店铺

HORIBA倔场日本日本
GA-370
痕量气体分析仪
用于监测空气分离和半导体工厂制造的高纯度气体的质量管理
GA-370 为气体生产设施的质量管理提供连续的,高灵敏度及高精度的微量杂质(CO, CO2, CH4)监测。
高灵敏度的监测
采用交替流动调制型双光束非分散红外吸收法(NDIR),零点稳定,无漂移。
检测下限(MDL)为10 ppb,可支持需要高精度测量的应用。
高纯气体中微量杂质的监测
可应用于典型平衡气体如:氮气,氧气,氦气,氩气,氢气和空气。
操作简便,免维护
操作简便的屏幕菜单简化了分析仪的校准和测量等各项操作。
无需光学调整。
触摸式彩色液晶显示屏(LCD)能够以图表方式显示历史数据。
典型应用
一般情况下,工业气体如氧气和氮气,是由空气分离设备制造的。将除去水分(H2O)和二氧化碳(CO2)的原料空气通入分离装置,利用氮气(N2)、氩气(Ar)和氧气(O2)三者沸点不同分离出不同气体。同样地,空气分离设备也能制造其他稀有或惰性气体,如氢气(H2)和氦气(He)。
HORIBA倔场日本的GA-370 痕量气体分析仪能有效测量分离后气体中的杂质,了气体质量。
测量原理
交替流动调制型双光束非分散红外吸收法
GA-370 痕量气体分析仪内置的红外光源的光束通过气室到达检测器。在测量过程中,电磁阀交替地将样气和参比气体引入到分析仪的测量气室中。
与气室中充满参比气体时的情况相比,当气室中充满样气的时候,样气中的CO、CO2 以及CH4 会引起到达检测器的光强度的不同。检测器检测到的两种气体对光的吸收差异,使检测器薄膜发生偏转而振动。采用这种测量技术能省去光学斩波器和光学调整的需要,消除零点漂移,提高了灵敏度。
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