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MC型气体质量流量控制器

一、产品概述：

该层状流量控制器采用了一个比例阀，它与流量计部分相连。测量是在流量计的层状区域进行的，并且一体化的PID控制器按照用户的可编程设定点定位阀门。这些坚固的、闭环控制器可以接收0-5V的控制设置点信号，设置点信号或者来自一台外部的设备，或者来自一台可选的Alicat本地设定点模块（LSPM）。

控制器还能接受RS-232，0-10Vdc，或4-20mA控制输入信号，这取决于用户的选择爱好。与设定点电压无关的是，控制器能配置为单路或双路信号输出，它们可以是同样的或不同的电压或参数，例如质量流量和温度或流量和压力。这是因为我们的质量流量控制器综合了固态的差压、绝压和温度传感器来计算流量。因此，流量计不仅使用简单而且响应快，同时具有固有的线性和能够显示和变送多个过程参数。有了RS-232数字连接，不仅所有的过程参数可以同时获得而且还具有远程设置点能力。

在并行连接中，最多26台设备能被单独寻址和控制。气体量程从每分钟0.5毫升满量程到每分钟1500+升满量程。规格尺寸标注在设备背面，规格尺寸随着工况的不同可能有所不同。（体积流量计不需要绝压传感器或离散温度传感器，因此会便宜些。他们常用于通风到大气或小的背压应用。）

二、流量控制器的性 1. 压力，温度，体积和质量流量的持续显示（M系列） 2. 简易的按键操作界面 3. 无热线圈的热漂移 4. 固有的线性 5. 通过CE认证 6. 可标注用户商标 7. NIST Traceability 8. 设定点可通过动态数字显示 9. RS232串行输出标准

三、设计特点 1. 满量程从0.5CCM到1500LPM+ 2. 响应时间100ms 3. 量程比优于100：1 4. 位置不敏感 5. 自动复位或在显示屏上按复位键（Tare）复位 6. ±0.8%读数±0.2%满量程（高精度选项±0.4%读数±0.2%满量程） 7. 17种气体选择，无须重新校验（须带显示） 8. 动态数字显示 9. 本地控制能力

产品规格	MC	测量单位
量程范围	0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500，800	(S)CCM
量程范围	1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，1500	(S)LPM
精度等级	±0.8%读数±0.2%满量程（高精度选项±0.4%读数±0.2%满量程）	满量程
重复性	±0.5%	满量程
量程比	100：1
响应时间	100	毫秒
压降	-	与厂家商议
操作温度	-10～50	℃
零点漂移	0.02%/ATM	满量程/℃
范围漂移	0.02%/ATM	满量程/℃
湿度量程	0-100%	无冷凝
过流率	2.4%	满量程
最大耐压	125	PSIG
供应电流	当流量≤20LPM时： 0.25 当流量≥50LPM时： 1	安培
电源电压	当流量≤20LPM时：12-25VDC 当流量≥50LPM时：24-30VDC
输入/输出	0-5VDC，0-10VDC，4-20mA,RS-232	VDC
电气连接	8针或可选的工业连接插头	小型圆插头 DIN
机械连接	1/8"接口：流量≤20(S)LPM 阀门侧1/2"接口，流量计侧1/4"接口：当流量为50(S)LPM和100(S)LPM时 1/2"接口：当流量为250～1000(S)LPM 1"接口：当流量＞1000(S)LPM	NPTF
接液部件	303和302不锈钢，Viton®，RTV硅树脂，玻璃纤维增强尼龙，阳极氧化铝，410&304不锈钢，镍，铜，Delrin®，Loctite®粘剂326，401，609

产品尺寸：

流量范围	高度	长度	深度	流量计接口	阀门接口
≤20（S）LPM	4.08"	3.5"	1.56"	1/8" NPT(F)	1/8" NPT(F)
20～50（S）LPM	4.600"	～5.7"	2.0"	1/4" NPT(F)	1/2" NPT(F)
50～100（S）LPM	4.727"	～6.6"	2.0"	1/4" NPT(F)	1/2" NPT(F)
100～1000（S）LPM	5.242"	～6.6"	2.0"	1/2" NPT(F)	1/2" NPT(F)

注意事项：特别低的流量装置可能配有特殊接口以减少死区量。有时候，特殊的流量/压力条件可能规定各种接口尺寸的组合。

CMQ气体质量流量控制器

CMQ0005/0020/0050数字质量流量控制器(小流量型)CMQ系列是高性能数字质量流量控制器，它使用由山武公司研制的感热式微流量传感器和比例电磁阀这种高水平执行器。因此CMQ具有高性能低成本。CMQ具有响应快、控制范围宽的特点，能满足多种工业控制要求。

MPC9500山武气体质量流量控制器

此产品它是一款通过面板安装来实现高水平的流量控制器的，而且它也是世界上最小、最轻的气体质量流量控制器，它具有操作简单、安装简单的特性而被广大客户朋友们喜爱。

它在对浮子式流量计进行更换时，操作和安装也很简单，没有任何不适感，标准化配置了丰富的功能，根据顾客多样化的需求，努力降低了设备的总成本。

此产品的设计与应用是来应对这样的需求的：① 想要数字化设定和管理流量

② 想要解决浮子式流量计不可避免的“因设计与使用时的条件差异引起的测量误差”

③ 想要控制流量，但是，不能接受价格昂贵、结构复杂的测量仪器和复杂的操作

④ 想要将浮子式流量计更换为气体质量流量控制器，但是，不能对安放场所、配管布局等进行大规模的更改等。

另外，此系列还有其它几个型的产品，比如有MPC0002、MPC0005、MPC0020等，它们的适用气体必须是干燥、清洁的。其控制范围是4 ~ 100%FS，响应性在1.0s以内达到设定±2%FS（TYP），此外，它的精度为±2%FS以内（标准温度、标准差压下），重复性为±1%FS以内，温度影响情况为每1°C为0.1%FS以下，标准差压是0.2MPa，必要差压则为0.05MPa，耐压为0.5MPa（表压），它的标准工作温度为+ 25°C，允许工作温度范围在-10 ~ +50°C （但是，使用RS-485通讯功能时为0 ~ +50°C ），允许保存温度范围是-10 ~ +60°C，允许环境湿度范围为10 ~ +90%RH（无结露）。此产品的接气部分材质为黄铜（镍镀金）、不锈钢、特氟纶、氟橡胶，连接方式为Rc1/8，安装方式为设定显示部表面垂直，入口配管侧在下、出口配管侧在上的状态，重量约300克。如需了解更多信息，请登录www.zhoudar.com进行咨询！

该公司产品分类：流量计传感器伺服系统

V10FC-R直接热式质量流量计/质量流量控制器（多种气体可选）

V10FC-R直接热式MFC/MFM采用热消散原理技术，两传感器分别置于流量计主通道两端,一传感器为温度传感器,一传感器为质量流速传感器,气体流经仪表时流经通道,通过两传感器将检测到的流量信号转化成电信号，经放大后转换成0~5V或1~5V的电压信号或4~20mA的电流信号。从而达到精确的测量和控制气体的质量流量.其结构特点是没有分流器件,因此此产品可以测量易结晶的气体介质,其基本组成由分流主通道、流量放大电路、温度传感器、压力传感器、差压传感器等部件；在质量流量计的基础上，再加上电磁比例调节阀门和PID控制电路就构成了质量流量控制器。产品应用产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析,科研院所实验设备。
产品特点 ● 直接热式原理、高精度、快速反应 ● 无压损,抗结晶,抗腐蚀 ● 适用于各种管道压力 ● 精确测量和控制气体的质量流量 ● 预热时间短,零漂小，稳定性高 ● 多种气体可选,也可自行输入
技术参数

技术指标	V10FC-RC质量流量控制器	V10FC-RM质量流量计
量程范围	小量程:0.5SCCM～10SLM 中量程:10SCCM～30SLM 大量程:30SCCM～250SLM
控制范围	50：1
准确度	±1.5%F.S
线性	±0.5%F.S
重复精度	±0.2%F.S
响应时间	100ms	10ms
数字量	RS232/485
模拟量	0～5V、4～20mA、1～5V
通讯方式	MODBUS
工作温度	0～50℃
工作压力	工作压差：0.03～0.5MPa	工作压降：<0.01Mpa
最大耐压	14MPa
电气连接	DB15孔
漏率	1×10-9SCCSHe
温度系数	±0.025%F.S/℃
底座材质	316L
密封材料	氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
接头	VCR1/4;swagelokφ6
防爆等级	IP65

D07-7K 气体质量流量控制器

产品型号	D07-7K
产品类型	普通型
流量量程	20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
产品精度	±1％F.S.
重复精度	±0.2% FS
线性	±1％F.S.
响应时间	≤4sec
工作温度范围	（5~45）°C
耐压	3MPa
密封材料	氟橡胶Viton,氯丁橡胶（耐氨橡胶） Neoprene
输入输出信号	（0~5）VDC
电源	±15V
阀类型	常闭
温度系数	- 无 -
零点飘移指标	- 无 -
电气连接	D sub 15 pins Female
工作压差范围	（0.1～0.5） MPa
漏率	1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
标准接头形式	双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4（内）×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6（内）×1软管接头
表面化学成分	- 无 -
表面粗糙度	- 无 -
抗电磁干扰	- 无 -
重量	1.1Kg

该公司产品分类：气体流量计 D08系列流量显示仪/积算仪 cs系列数字式气体质量流量控制器 D07系列模拟式质量流量控制器

经济型质量流量控制器

产品名称：经济型质量流量控制器

精度：精度%FS

型号 GFC17,37 GFC47,57,67,77

流量范围 0-100% 20-100% 0-20%

精度 ±1.5% ±1.5% ±3%

可选精度%FS

型号 GFC17 GFC37，47,57,67,77

流量范围 0-100% 20-100% 0-20%

精度 ±1% ±1% REF DATA with ±1%

校准：标况【14.7psia（101.4kpa），70℉（21.1℃）】

重复性：±0.25%满里程、

响应时间：在满里程的25-100%范围内，2秒内达到2%精度

温度系数：0.05%满里程/℃

压力系数：0.01%满里程/psi（0.07bar）

推荐气体压力：25psig（1.73bars）

最大气体压力：GFC17,37,47最大1000psi（70bars）.GFC57,67，77最大500psig（34.5bars）

量程比：40:1

方位灵敏度：水平到垂直旋转低于15度；标准校准是在水平位置

该公司产品分类：流量计

DSN-600CD厂家直供实验室热式气体流量控制器质量流量控制器

D-600CD数字型质量流量计

特性：D-600CD 产品采用单电源供电(6~16VDC)；一体显示，也可以直接连电脑显示；数字，模拟输入输出；具有多气体多量程，高精度，极低零漂，软起动功能及强大的免费客户端使用软件。

1、两种输入方式：1、1 模拟输入：外部 0~5VDC或4~20 mA ；可选内部物理量（0~5VDC或4~20mA 状态下的% 、满量程）输入1、2 数字输入： PC上位机软件设定（RS232 或者RS485）2、两种输出方式：2、1 模拟输出： 0~5VDC或4~20 mA ；2、2 数字输出：通过 RS232 或者RS485 输出到PC机

D-600MD数字型质量流量控制计主要指标:流量规格（N2）：可选，（0~1，5，10，20，50，100,150，200）SCCM；

（0~1，5，10，20，30）SLM

准确度： ±1%F.S.线性： ±0.5%F.S.重复精度： ±0.2%F.S.响应时间： ≤1Sec工作压差范围： (0.05~0.3)MPa最大耐压： 10Mpa工作环境温度： 5~65℃电气连接： 8 针（小型圆插头）输入/输出信号 Digital：RS232/RS485 ； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA电源： 6~16VDC ；1A标准接头： Swagelokφ6；Swagelok 1/4″；VCR1/4″

产品实拍图：

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该公司产品分类：气体质量流量计气体流量控制器

XF805-JY-2B气体进样器质量流量控制器

气体进样器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。具有精度高、重复性好、响应速度快、稳定可靠、工作压力范围宽和样品恒温气化等特点，广泛用于石油化工等行业。显示范围：LED显示大流量（FS）: 3000毫升/分钟准确度：±2% 重复精度：±2% 响应时间：1～4秒工作压力：3MPa 工作环境温度：5℃～45℃ 大漂移：0.08% 气化温度：室温～120℃ 控温精度：±1.5℃ 电源：220V±20%

该公司产品分类：测氡仪氧气检测仪氢气气体检测报警仪气体检测报警仪熏蒸气体检测仪空气质量检测仪垃圾场有毒有害气体测试仪酒精测试仪有毒气体检测仪甲烷检测仪可燃气体检测仪/探测仪复合气体检测仪显微镜苯检测仪挥发性有机气体测试仪臭氧检测分析仪甲醛检测分析仪二氧化硫检测仪检测仪氨气检测仪

Compact热质式气体质量流量控制器

特點：

1.世界个使用电池电力之气体质量流量計

2.互补金属氧化半导体元件(CMOS)技术原理

3.对压力及温度的话不敏感

4.高度和高解析度

5.使用时不需安装其他配件

6.可使用电池电力或24伏特直流电力

7.安装后可连续使用两年自主性（电池部分)

8.LCD液晶直读式设计及条状图形显示

9.外型设计精巧可耐压力之卫击

10.可选配手动针状阀或开关功能

流量范围： 0~10/100/1000/5000ml/min 0~5/10/50/100/100/200/300L/min (依客戶选定) 精确度：+/-1% FS

反应时间：500毫秒

操作温度：0~50℃

A-32680（空气）A-32682(O2）A-32683（H2）A-32685质量流量控制器

-通过计算机及RS-485接口/RS-232连接测定/控制各种气体。 -控制器可以设定流速、报警、总计数器、读取总计数器、归零等功能。 -控制器可以控制泵、阀、或其它装置的开关以控制流量 -控制器内存有10种气体的校正参数。 -控制器具有自诊功能和自动计算功能使其能够在的状态下工作客户可以根据需要选择适当的控制器