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气体质量流量控制器

一、产品概述

采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS（ Microelectromechanical systems）气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。

该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿。

二技术参数（本产品按Q/320500HH009-2014进行生产、校验）

2.1 测量介质：各种气体（乙炔气和混合气体除外）

2.2 流量范围： DN3 100-1000mL/min

DN4 250-2500mL/min

DN6 1000-10000mL/min

DN8 1500-15000mL/min

DN10 2500-25000mL/min

注：(a)以上流量的测量介质为空气而言；

(b)以上流量的标准状态20℃，101.325kPa。

2.3 流量测量准确度：±1.5%FS

2.4 工作温度范围：0-55℃；

2.5 工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa``

2.6 供电电源：24VDC±10%；

2.7 输出信号：4-20mA，RS485通讯；

2.8 环境温度：0-55℃；

2.9 显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位。

该公司产品分类：金属转子流量计磁翻柱液位计玻璃转子流量计热式气体质量流量计气体质量流量控制器

气体质量流量控制器型号:BHBL6-S49-300/MT 数字式

货号:

一、产品主要特点:本产品可自动测控气体质量流量。不受温度和压力的限制，度高、重复性好标准电信号输入输出，可测控瞬间和累计流量。适用于各种介质，可替代同类进口产品，除此以外，还具有以下特点： 1、采用当今的40MHz高速主频、32位ARM系列单片机做数字处理控制。数字化处理的测量线性、精度，及实时动态控制等。响应速度做到了2秒。 2、12位精度、采样速率高达1MSPS的AD/DA转换。 3、RS232/485串口，Modbus协议，与上位机通讯简单方便。配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。 4、结构主体采用不锈钢（316L）材料，气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。5、耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。6、具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定。可任意位置安装。 7、兼容模拟电气操作控制及显示，使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。二、主要技术指标表1、硬件性能项目\型号 S49-300/MT S49-300A/MT 1 流量范围 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM;0~1,2,3,5,10,15,20SLM2 调节阀类型电磁调节阀 3 调节阀静止状态常闭（设定<2% F.S） 4 度 ±1%F.S10SCCM~10SLM规格，其余规格≤±2% F.S。精度范围10%~100% F.S 5 线性 ±0.5~1.5%F.S 6 重复精度 ±0.2%F.S 7 响应时间 2Sec 8 工作压差范围 0.05~0.4MPa; 0.1~0.4MPa10~30SLM 9 耐压 3MPa; 10MPa 10 工作环境温度（℃） 5~45 11 材料不锈钢316L 12 标准密封材料 Viton®， EPDM，或其他由用户指定 13 漏率＜2×10-9mbar.l/s He 14 接头 Φ6mm, Φ1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定 15 输入输出信号模拟0~＋5.00V 输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA数字RS232/RS485串口，Modbus RTU 协议 16 供电电源 ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） 17 外型尺寸（mm） 123×111×28 18 重量（kg） 0.7

产品图片

INHA气体质量流量控制器

私人定制该产品为定制产品，中外合作，价格需电议，厂家直销仁荷微电子科技有限公司主要从事质量流量器的研制、开发、制造、销售以及质量流量器各种配件模具的设计、加工等相关的服务。产品包括超高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和全球服务支持方案。本公司产品气体质量流量控制器广泛应用于工业气体、石油、化工、医疗、电子及微电子、半导体、太阳能光伏、各类实验室、研究所、生物医药、标准检测等各类高新技术领域，为客户提供各种气体管道输送系统的全面服务。深受广大客户的肯定及认同。

我公司生产的气体质量流量控制器所使用的技术全由我们独家技术，具有自主知识产权，产品的每一个部件都有我们自己设计制作，且已取得了多项技术专利申请 ,气体质量流量控制器每一个部件我们都以精益求精的质量服务广大客户，让客户体验到自动化流量控制设备带来的改变，为现有的产品技术升级提供基础服务。致力于为客户开发“生产工艺最优化和成本化”的解决方案及相关产品。并且能够提供高效优质的售后服务。

产品优势：本公司自主开发研制的产品质量流量计，是一种先进的智能精密质量流量测量仪表。可直接用来测量管道中介质的质量流量及总量、体积流量及总量、介质的密度、温度、溶液的浓度以及较均匀混合的两种液体各自的浓度等参数。该流量计即使在恶劣的工作环境下也能表现出优异的性能。对工况条件也没有苛刻的要求。具有抗干扰能力强，测量精度高、量程比大、工作稳定可靠、对安装要求低、对流体状态要求低，压力损失小等优点，且易清洗、具备自排空功能；其基本技术指标已达到国际先进水平，每台传感器都由不锈钢材料制造，变送器的多种输出能满足您的各种需求。我公司生产的产品所使用的技术全由我们独家技术，具有自主知识产权，产品的每一个部件都有我们自己设计制作，且已取得了多项技术专利申请MF系列

MF-50/100/200C MF-100/200MMF产品系列特点：有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到10Mpa;本产品可以使用多种气体介质（包括一些腐蚀性气体等等）；有很宽的流量范围，产品最小流量范围可达0~10sccm，最大流量范围可达0~30slpm。流量控制范围是满量程的2~100%（量程比为50:1）。——耐高压（最大工作压力可达100bar）——响应时间快≤1sec——模拟输入输出接口（0-5Vdc或4-20mA可选）——连接尺寸与其他标准质量流量器兼容——尺寸小——连接方便，快拆快拧——交货周期短——优惠的价格极具性价比——准确率高——稳定的流量控制——压力范围广

用途和特点气体质量流量控制器（MFC）在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺设备，如：氧化、CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、以及微反应装置、混气配气系统、真空镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪及其他分析仪器。结构

气体质量流量计由流量传感器（Sensor），分流器通道和流量放大电路等部件组成；在气体质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了气体质量流量控制器。工作原理•流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量（无需温度压力补偿）。•将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。•分流器决定主通道的流量。•与之配套的流量显示仪上设置有稳定电源，3位半数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。•控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比，满量程（F.S）流量检测输出电+5V。气体质量流量控制器的流量控制范围是（2~100）%F.S（程比为50：1）

主要技术指标

编号项目 MF-200C MF-200M1 流量规格（N2） 10sccm～30slpm 2 准确度 ±1％F.S(Full Scale)3 重复精度 ±0.25％F.S（Full Scale）4 响应时间 ≤2sec（特别要求时：≤1sec）5 耐压 ≤90bar6 工作环境温度 0℃～50℃7 输入输出信号 0～5V 0～5V or 4～20mA8 供电 +15Vdc or +24Vdc 350mA9 漏率 1×10atm.cc/sec10 使用范围 2～100％满量程

该公司产品分类：流量显示控制仪表 INHA气体质量流量控制器气体质量流量控制器

MPC气体质量流量控制器

品牌:日本山武Yamatake（创立于1906年）型号:MPC系列类型:气体质量流量控制器测量范围:2ML—20L/MIN 精度等级:1—2%FS以下适用介质:空气/氮气/氧气/氩气/CO2模拟信号：0-5V、1-5V工作压力:0.5（MPa）工作温度:-10 到 +60（℃）

盘装面板式质量流量控制器MPC系列是本公司独自开发的超高速响应流速传感器。集MicroFlow传感器、超小型比例电磁阀、新方式的流路和高度的执行器技术于一体，可安装在仪表盘上的质量流量控制器。特点： 1：全球面板式安装气体流量计；世界最小、最轻的质量流量控制器（面板尺寸48*48mm，深73.7MM；最轻300公克） 2：盘式结构，LED数字显示，产品面板上有可调节各种功能的按钮，极其容易操作;通讯功能RS-485 3：带有RS-485通讯，能于其他外部设备实现通讯4：采用了感热式质量流量测量，因此实现了不受温度、压力变动影响的精确测量5：响应速度高速1秒以内，高精度1—2%FS以下的流量控制

详细型号和资料欢迎来电咨询柯勇 13122347382邮箱：keyong0519@163.comQQ：717563143

C50热式气体质量流量控制器氮气流量计氩气流量计

概要

气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称MFC）利用温差量热法原理，可对气体的质量流量进行精密测量和控制。用这种方法测出的气体流量可以忽略温度和压力影响。

本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件和命名方法。

MFC出厂通常用氮气（N2）标定。

质量流量的单位规定为：SCCM (标准毫升/分)，SLM (标准升/分)

标准状态规定为：温度－－-273.15 K（0℃），气压—-101325 Pa（760mm Hg）

F.S.（Full Scale）：满量程值

产品特点

本产品具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点，安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单，可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可通过模拟/数字信号转换器（AD/DA转换器）配合计算机使用。

流量规格(N2标定)

0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0～1,2,3,5,10,20,30 SLM

注：满量程流量不限于此处列出的流量规格，可以在5SCCM～30SLM范围内任选，例如123SCCM。

输入输出信号

0～+5.00V (输入阻抗大于100kΩ，输出电流不大于3mA)

应用行业

化学工业、石化工业、LNG工业、半导体材料和微电子工业、医药工业、特种材料研究、环保和真空行业等。使用本产品的设备主要有：真空镀膜设备、混气配气设备、光纤熔炼设备、晶体制备设备、微电子设备、微反应装置、气相色谱仪及其它分析仪器等。

质保与服务

我公司承诺对产品的质保期为叁年。在您收货后叁年以内，如果按照说明书要求使用，遵守安全注意事项，并且产品没有被损毁、改装或翻新，若有任何故障和问题，我公司负责免费维修或更换新品。

在保修期外，我们提供终身维修和维护服务，但适当收取维修和维护的成本费。维修和维护后，维修部分的质保期为壹年。

我公司有专业的售后工程师可以帮助您解决关于安装和使用等各方面的问题，并且提供产品的使用培训。

产品规格

流量规格(N2标定)	0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
流量规格(N2标定)	0～1,2,3,5,10,20,30 SLM
调节阀类型	常闭式
量程比	(2～100)％F.S. 或50:1
流量分辨率	0.1％F.S.
准确度	±1％F.S. (≤15SLM)
准确度	±2％F.S. (＞15SLM)
线性	±0.5％F.S. (≤15SLM)
线性	±2％F.S. (＞15SLM)
重复精度	±0.2％F.S.
响应时间	≤2sec
工作压差范围	0.1～0.5MPa (≤10SLM)
工作压差范围	0.1～0.3MPa (＞10SLM)
最大耐压	3MPa
工作环境温度	5～45℃
电缆接头	DB15pin(针形)
输入输出信号	0～+5.00V (输入阻抗大于100kΩ，输出电流不大于3mA)
供电电源要求	+15VDC(50mA),-15VDC(200mA)
对外单点泄漏率	≤1×10-9Pa·m3/S(He)
介质接触材质	316，316L，密封填料

管道接头尺寸	VCR型接头：1/4”
管道接头尺寸	双卡套型接头：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm
外形尺寸	长×宽×高：127×30×100 mm
净重量	0.88kg

该公司产品分类：不锈钢管显微镜流量仪表

XF805-JY-2B气体进样器质量流量控制器

产品名称:气体进样器质量流量控制器产品型号:XF805-JY-2B气体进样器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。具有精度高、重复性好、响应速度快、稳定可靠、工作压力范围宽和样品恒温气化等特点，广泛用于石油化工等行业。显示范围：LED显示大流量（FS）: 3000毫升/分钟准确度：±2% 重复精度：±2% 响应时间：1～4秒工作压力：3MPa 工作环境温度：5℃～45℃ 大漂移：0.08% 气化温度：室温～120℃ 控温精度：±1.5℃ 电源：220V±20%

该公司产品分类：显微镜系列复合气体检测仪可燃气体检测仪/探测仪甲烷检测仪有毒气体检测仪酒精测试仪垃圾场气体检测空气质量检测仪熏蒸气体检测仪气体检测报警仪氢气气体检测报氧气检测仪测氡仪干燥箱系列培养箱系列振荡器系列搅拌器系列水浴锅系列离心机系列粉碎机系列

MFC供应美国派克质量流量控制器

•流量范围从0-5 sccm到0-1000slpm（氮气）• I/O（输入&输出）可选模拟和数字信号 •设定点的响应时间不超过1sec

•可实现本地/远程设置/显示 •控制精度可达实际流量的1%

•热式测量系统测量准确,流体温度上升不超过5°C

•专利控制电路与压电执行控制阀在低流量范围提供快速、稳定的控制

应用于流量测量领域的紧凑型安装解决方案，减小高达85%的连接点和泄露点，降低安装成本，提高安全性，多种材料可选，多种规格可选，多种连接接口方式可选，防火设计可选。

该公司产品分类：塑料金属

KT-实验室测量多种混配器气体的质量流量控制器

产品用途

气体配比器主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制功能延伸性强根据客户要求随意添加

该气体配比器可以外接3或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.

1.半导体制造行业中气体流量控制

2.各种真空镀膜设备

3.特种材料表面处理

4.气体燃烧控制

5.混和配气系统

6.泄漏探测系统

7.环境检测与分析设备

8.分析仪器的气体流量计量与控制

9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所

技术资料

产品型号	KT-C3Z
产品类型	高精度型/快速响应型/智能控制触摸屏控制
可选量程	20sccm,30sccm,50sccm, 200sccm,500sccm,1slm ,5slm,10slm
产品精度	高精度型±1％F.S 普通型±1％F.S
重复精度	高精度型±0.2% F.S 普通型±0.2% F.S
线性	高精度型±0.5% F.S. 普通型±1% F.S.
响应时间	高精度型≤2sec 普通型≤4sec
工作温度范围	(5~45)°C
供电电源	~85-265VAC 50/60Hz
功耗	40W
进气口压	≤0.6MPa
连接管道	φ4-6mm316不锈钢管道
截止阀类型	电磁阀
单向阀开启压力	0.02Mpa
压力显示量程	0-0.6Mpa
控制方式	7寸触摸屏智能调节
时间设定	0-99999
清洗功能	一键清洗
数据导出	无
程序控制	5段可编程序(时间-流量随意设定值)
压力显示	有（出气压力检测）
气体缓冲罐	有
流量累计	有（累计当前运行总流量）
可选进出气口接头形式	3MM 6MM 1/8mm 1/4mm 双卡套接头
抗电磁干扰	无
外形尺寸	460X210X480
重量	18KG

产品用途

气体配比器主要用于气体流量测试,并按比例混合。混合后的气体通过真空测试腔体从而传感器根据不同比例的气氛环境传出不同的模拟量信号。控制方式采用集成化模块控制功能延伸性强根据客户要求随意添加

联系电话：手机/微信：152 8682 QQ:760625767联系人：李工

该公司产品分类：传感器实验室搭建材料样品处理实验室气体配比器材料样品检测材料样品封装真空探针台分子泵质量流量配比器等离子清洗机石英管封口机真空腔体气体配比器

M3100气体质量流量控制器M3100

1. 用途及特点

气体质量流量控制器( Mass Flow Controller 简称MFC )能够在较大的量程

范围内对气体的质量流量进行精密测量和控制。

气体质量流量计( Mass Flow Meter 简称MFM )能够在较大的量程范围内

对气体的质量流量进行精密测量。

它们在石化工业、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、环保和

真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺

设备，如、氧化、CVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、；以及微反应装置、混气配气系统、镀膜设备、光纤熔练、气相色谱仪及其它分析仪器。

Line-Tech Ltd.于对产品的性能和生产工艺的不断改进。对M 系列气

体质量流量控制器（MFC）和气体质量流量计（MFM）进行了的技术改造，

在功能和性能上有了进一步的提高。

M 系列气体质量流量控制器和质量流量计具有精度高、响应速度快、重

复性好、稳定性佳、软启动、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下

工作)，其操作使用方便，可任意位置安装调试，并更好的与计算机连接实现自

动控制。

M3100V 和M3100A 型气体质量流量控制器（MFC）性能指标

1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters（公升）

sccm : s = standard cc = cm 的3 次方 m = minute（分鐘）

slpm : s = standard l = liter p = per m = minute（分鐘）

项目 M31000V 和M3100A

1 流量规格（N2）: 25slpm ～ 120slpm

（本公司可以为客户在25slpm ～ 120slpm范围内任何区域标定）

2 度 :±1% F.S （Full Scale）

3 重复精度 :±0.25 % F.S （Full Scale）

4 响应时间 :≤3sec ( 特别要求：:≤1sec )

5 耐压 : 95 bar

6 工作环境温度 :5 ℃ ~ 65 ℃

7 输入输出信号: 0 ~ 5Vdc 4 ~ 20mA

8 电源 :±15Vdc, 350mA

气路接头形式

可提供5 种尺寸接管外径的接头类型：

a.. 1/8＂ Compress

b. 1/4＂ Compress

c. 3/8＂ Compress

d. 1/4＂ VCR

e. 1/4＂ VCO

13917099687 范先生

CMQ日本山武数字气体质量流量控制器CMQ

型号日本山武（YAMATAKE）日本山武数字气体质量流量控制器CMQ 数量大量库存产品描述 CMQ9200/9500/0002/0005/0020/0050/0050JK/0200JK/0500JK等CMQ系列是高性能型数字式气体质量流量控制器，使用山武公司独有的感热式微流量传感器和高精度的比例阀，具有响应快、精度高、控制范围宽等特点，能满足多种工业控制要求。基本系列 CMQ9200 CMQ9500 CMQ0002 CMQ0005 CMQ0020 CMQ0050 CMQ0050J/K CMQ0200J/K CMQ0500J/K流量范围 200mL/min 0.500L/min 2.00L/min 5.00L/min 20.0L/min 50.0L/min 50.0L/min 200L/min 500L/min适用气体氮气、空气、氧气、氩气、二氧化碳、城市煤气13A（LNG）、甲烷100%、丙烷100%、丁烷100% 控制范围 1--100%FS 响应速度 0.5秒达到设定值±2%FS 1秒达到设定值±2%FS 阀门输出更新周期 10ms 精度 ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS标准差压 98KPa 9.8KPa 98KPa 9.8KPa 98KPa 196KPa 19.6KPa 196KPa 196KPa操作差压范围 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa 0.98--98KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa耐压 980KPa 设定方法 1、键盘操作 2、外部设定电压输入 3、通讯设定输入电压范围 0--5VDC / 1--5VDC （通过组态设定和外部开关输入选择）输出电压范围 0--5VDC / 1--5VDC （通过组态设定和外部开关输入选择）输出点数报警输出：1点；事件输出：2点外部开关输入外部3位开关输入（OPEN/GND/5V）：1点；外部节电输入（2位开关）：3点安装方式水平安装，显示部不可向下电源 DC15--24V 消耗电流：300mA max DC24V / 400mA max DC24V/500mA重量约1.2Kg 约3.5Kg