EL-FLOW® 实验室型气体质量流量控制器

EL-FLOW®系列质量流量控制器是一款高科技代表的产品，能测量控制流量范围：0..1 mln/min 到 0..1250 ln/min，最大操作压力达到400 bar。

Bronkhorst Hi-Tec EL-FLOW®系列仪表性能表现：

  • 精度
  • 稳定性
  • 实用性
  • 品质

技术应用：

  • 模块化结构
  • 电化学抛光
  • SMT表面贴装工艺
  • 噪声信号抑制
  • 自动温度补偿
  • 内部电压调整

控制阀被设计成模块化结构，可以方便地更换，Kv值为1.5。获得专利保护的独特结构设计，能适应大流量及高差压的控制，这是的产品。

应用

  • 实验室的实验装置
  • 在食品、化学和石化工业中的过程控制
  • 发酵和生物化学
  • 质量控制和泄露侦测系统
  • 气体混合控制和环境控制
  • 燃烧控制
  • 半导体制造
  • 表面处理装置

流量范围表(空气) 

F-200C min. 0,02 ... 1 mln/min
 max. 0,2 ... 10 mln/min
F-201C  min. 0,2 ... 10 mln/min
 max. 0,3 ... 15 ln/min
F-201AC min. 0,2 ... 10 ln/min
 max. 1,4 ... 70 ln/min
F-202AC  min. 0,5 ... 25 ln/min
 max. 5 ... 250 ln/min
F-203AC  min. 2 ... 100 ln/min
 max. 25 ... 1250 ln/min
F-232M  min. 0,2 ... 10 mln/min
 max. 2 ... 100 ln/min

质量流量控制器GFC

一、概述：

  GFC系列用于测量和控制气体质量流量。本品外壳坚固耐用，精确度高，是一款多功能而且经济实用的流量控制产品。

  可选铝或不绣钢外壳，可选显示工程单位（标准）或百分比。自带的电磁比例阀可以控制设定的流量，该阀是常闭阀，当意外停电时，阀门将自动关闭。设定点可以本地控制或外部给定控制。

  自带置于传感器顶部的LCD显示模块，这个显示模块可倾斜90度以上以方便读数。它用一个标准的插头与传感器连接，也可以分开独立安装。OEM的应用可提供无 LCD显示的产品。

 

二、操作原理：

  被测气体分别流经两个层流区，一路通过主流量管道，另一路通过毛细测量管。

  两个管路的设计保证流体处于层流状态，因此两个管路流量比是恒定的。

  两个精密的温度感应绕组在测量管上被加热，当有流量产生时，被加热的气体从上游带走热量到下游的感应绕组上。产生温差和感应圈电阻的变化是成比例的。

  测量绕组的电阻值与瞬时流量成线性比例关系，采用惠斯顿电桥来检测测量绕组的电阻变化。

  根据被测气体的质量流量，输出0-5VDC或者4-20mA信号。

  经过两个层流区的气体混合后流过具体特定孔径的电磁比例阀，质量流量测量与电磁比例阀组成闭环的控制系统，使流量稳定在设定的流量值上。

  在一定范围内温度和压力的变化不会影响流速。

 

三、技术参数：

 产品名称：质量流量控制器GFC 精度：  精度%FS

          型号  GFC17,37，47      GFC57,67,77

          流量范围 0-100%        20-100%   0-20%

          精度    ±1%               ±1.5%   ±3%

 

          可选精度%FS

          型号  GFC17         GFC37，47,57,67,77

          流量范围 0-100%     20-100%   0-20%

          精度    ±1%        ±1%      REF DATA with ±1%

  校准：标况【14.7psia（101.4kpa），70℉（21.1℃）】

  重复性：±0.25%满里程、

  响应时间：在满里程的25-100%范围内，2秒内达到2%精度

  温度系数：0.05%满里程/℃

  压力系数：0.01%满里程/psi（0.07bar）

  推荐气体压力：25psig（1.73bars）

  最大气体压力：GFC17,37,47最大1000psi（70bars）.GFC57,67，77最大500psig（34.5bars）

  量程比：40:1

  最大压差：GFC17/37/57/67/77 50psi（3.4bars），GFC47 40psi（2.7bars）

  气体和周围温度：32℉-122℉（0℃-50℃），14℉-122℉（-10℃-50℃），干燥气体

  方位灵敏度：水平到垂直旋转低于15度；标准校准是在水平位置

  输出信号：线性0-5Vdc（3000ohms最小负载阻抗）；线性4-20mA（500ohms最大回路电阻）最大噪声±20mV

  控制信号：远程设定模式：模拟0-5Vdc或4-20mA；NPN兼容清洗/关阀

  连接：GFC17and37：1/4＂卡套连接 

                     可选6mm，1/4VCR，3/8或1/8卡套

        GFC47：3/8＂卡套

        GFC57：3/8＂卡套

        GFC67：1/2＂卡套

        GFC77：3/4＂FNPT.可选：3/4＂卡套

  泄漏率：氦气泄漏率1*10­9sml/s

  输入电源：+12Vdc，800mA；可选+24Vdc，650mA

  回路保护：电路板内置极性保护，自动恢复电阻保护电源过载输入

  显示：3-1/2数字LCD，0.5＂英寸高字符

  CE认证：EN55011class1,classB;EN50082-1

 

 

该公司产品分类： 配气系统 压力开关 压力开关 流量控制器 蠕动泵 泵 步进电动阀 流量调节阀 流量调节阀 气体流量计 流量计 质量流量控制器 转子流量计/浮子流量计 质量流量计 流量控制器 流量计

气体质量流量控制器

气体质量流量控制器

产品特点：1.          满量程从0.5ccm到1500lpm2.          响应时间10ms3.          量程比优于100：14.          精度±0.8％读数±0.2％满量程（可选±0.4％读数±0.2％满量程）5.          本地显示、rs-232或模拟信号输出质量流量、体积流量、温度和绝压6.          自动复位或在显示屏上按键复位7.          安装位置不敏感8.    现场可选30种校验气体差压原理与热式原理对照表

产品简介：

alicat气体质量流量计利用两个已研究透彻的气体物理属性：压力和粘性来测量流量。通过层状流量单元的差压测量来计算流量，这种测量方式具有固有的线性。采用差压、绝压和温度传感器来测量并补偿气体的压力、温度，测量标准状态（如1个大气压@25℃）下气体的体积流量。可测量4种参数：质量流量、体积流量、温度和绝压，可选累计流量，并且可以通过动态显示屏同时显示。可选电池使得该款产品方便携带，常用于测试和校准工具。另外提供用户定制满足您特殊需求。    alicat气体体积流量计采用差压传感器来测量当前状态下的体积流量。由于它没有内置绝压和温度传感器，价格会便宜一些，是相对于质量流量计的另一种选择。本地显示：    alicat所有产品均提供本地显示标准功能（无显示产品可以用于oem）。质量流量控制器和体积流量控制器在主显示上均提供了不同的过程参数信息，用户通过按键可以选择主显示方式（main mode display）和所测的气体(30种校验气体)，调节pid参数，将测量流量清零等。

 

  数字输出（rs-232）：    所有的alicat产品均具有标准的rs-232输出。其信号通过8针圆形接头或6针工业连接头传输。使用alicat的rs-232输出或输入通讯串口无需特别软件。任何带有终端程序的设备，例如windows®操作系统里的“超级终端”，均可以使用我们的alicat产品。rs-232可以实现本地显示上的所有操作功能，例如：清零、更换校验气体、改变pid等。     对于质量流量控制器，通过rs-232所显示的过程参数同其本地显示上数据是一致的。控制功能也与每个型号的本地显示控制模式一致（如右图所示）。体积流量控制器的控制功能 (loop)只定位在“体积流量(volume)”上。 所有的产品均可以根据用户的选择配置为流动模式或轮循模式。模拟输出：    模拟信号通讯同样是由rs-232接口的8针圆形接头来提供。默认的模拟信号是0-5vdc，可选0-10vdc或4-20ma的输出信号。alicat质量流量控制器提供0-5vdc输出“质量流量”，同时提供一个模拟控制设定点的针脚。质量流量控制器通过“se-lect”（出现在本地控制设定模式中，如右上图所示）来控制设定点方式。可选第二路单独模拟输出“压力”、“温度”或“体积流量”。alicat体积流量控制器提供0-5vdc输出“体积流量”，同时提供一个模拟控制设定点的针脚。体积流量控制器通过“se-lect”（出现在本地控制设定模式中，参考右上图）来控制设定点方式。应用领域:      医药、工业、过程控制、实验室、oem、替换热式质量流量计、泄漏测试选项附件：1. 电气电缆 2. ac/dc 电源适配器 3. 特殊混合气体 4. 远程数字显示（rdd） 5. 用户化压降设置 6. 电池包（使测试仪器便携） 7. 多种独立的输出

v

DFC美国Aalborg数字式质量流量控制器

 

设计特点 －数字式和模式方式同时提供－可编程序的控制流量－流量控制范围从0 开始到10 sccm 直到0到100 slpm－最大压力500 psig (34.5 Bar)－多点控制可到256 个单位(为RS-485 选择)－存放定标数据为10 不同气体－可编程序的12 个数字计算器表明总气体容量 －数字式(RS-232 或RS-485) 并且同时提供模拟输出－内部转换最多32种气体 －自动零调整 －自诊断测试
主要技术参数精度：1％FS
重复性: ±0.15% 全量程；
响应时间: 0.6 to 1.0 秒
温度系数: 0.05% /FC or better.
压力系数: 0.01% 全量程/ 0.07 bar (1 psi) 或更好；
可选气压:1.73 bars (25 psig).
最大气压: 70 bars (1000 psia).
最大瞬间压力: 13.6 bars (200 psia).
气体和环境温度: 5C to 50C (41F to 122F).
信号输出: Linear 0-5 Vdc (3000 欧姆 低阻抗负载);0-10Vdc (6000 欧姆低阻抗); 4-20 mA 供选 (500 欧姆高环阻).最大噪音 20mV 峰对峰.
输入电源: 最大15Vdc, 450 mA;

材质：316不锈钢，416不锈钢, Viton7 O形圈；Neoprene7或 Kalrez7 O形圈可供选择.

5400质量流量控制器金属密封低泄漏

5400系列金属密封型质量流量计控制器

经济型，适用于半导体等行业，5400是质量控制器，5410是质量流量计流量范围：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM控制阀：常闭，电磁隔膜阀反应时间：到达设定值±2%范围内≤1秒精度：±1%以内线性：±0.5%以内重复性：±0.2%以内使用压差：范围≤5SLM时，49～294KPA，5SLM <范围≤20SLM时，147～294KPA压力限制：980KPA泄露率：1 × 10–11 Pa?m3/second 或更小操作温度：0～50°C接触介质的材质：本体: SUS316L 隔膜：Ni-CO阀座:PTFE密封材料:Ni,SUS316L连接：1/4VCR电气连接：9针插座控制信号：0-5VDC输出信号：0-5VDC电源：5400：+15 VDC （±5%） 100 mA ， –15 VDC （±5%） 200 mA　　　5410：+15 VDC （±5%） 100 mA ， –15 VDC （±5%） 100 mA

02133194893,liuliejun123@sina.cn 详情来电 刘工  ,15711669815

该公司产品分类： 电磁比例阀 质量流量计 气体质量流量计

LF400-S气体质量流量计质量流量控制器

功能

流量计/控制器

基本型号 

LF400-S

满量程流量范围(N2)

SCCM

0～5，10，20，30，50，100，200，500

 

SLM

0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30

精度(％F.S)

±1(≤15SLM)

 

±1.5(＞15SLM.)

控制阀动作型式

常闭式

线性(％F.S.)

±0.5～1(≤15SLM)

 

±1.5％(＞15SLM.)

重复精度(％F.S.)

±0.2

响应时间(sec)

≤1

流量输出信号

0-+5.00V

流量设定信号

0-+5.00V

电器接头

DB15 pin(接头)

工作环境温度

(℃)

5～45

工作压差

(MPa)

0.1～0.5

漏率

SCCSHe

1×10-9

最大耐压

3MPa

介质接触材质

304，316，316L

密封材料

氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯

接头

VCR " 1/4、1/2

 

Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm

接头和尺寸

Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm

1/4"VCR:127×28×100mm

电源要求

+15V,50mA;-15V,200mA

重量

1.0KG

该公司产品分类： 气体混合设备 显示仪 流量计

型号:M297247 盘装质量流量控制器

盘装质量流量控制器 型号:M297247  
盘装质量流量控制器MPC系列是本公司独自开发的超高速响应流速传感器。集MicroFlow传感器、超小型比例电磁阀、新方式的流路和高度的执行器技术于一体，可安装在仪表盘上的质量流量控制器   产品图片

微小气体质量流量控制器，厂家直销高精度高稳定性快速响应价格优，欢迎新老客户来电咨询！

 LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。
　　可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
　　产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高精度，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。
　　o模拟式热质式流量计/流量控制器：
　　低单价
　　环境温度补正
　　可应用的流率范围广：
　　0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
　　0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
　　高精度
　　±1%(≤15SLM)
　　±1.5%(＞15SLM.)
　　可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
　　国际兼容
　　气体质量流量用氮气(N2)标定。
　　标准状态规定为：
　　标准温度………………0℃（273.15K）
　　标准压强………………101325Pa
功能 流量计/控制器
基本型号  LF400-S
满量程流量范围(N2) SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500
  SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(％F.S) ±1(≤15SLM)
  ±1.5(＞15SLM.)
控制阀动作型式 常闭式
线性(％F.S.) ±0.5～1(≤15SLM)
  ±1.5％(＞15SLM.)
重复精度(％F.S.) ±0.2
响应时间(sec) ≤1
流量输出信号 0-+5.00V
流量设定信号 0-+5.00V
电器接头 DB15 pin(接头)
工作环境温度 (℃) 5～45
工作压差 (MPa) 0.1～0.5
漏率 SCCSHe 1×10-9
最大耐压 3MPa
介质接触材质 304，316，316L
密封材料 氟橡胶，硅橡胶，丁氰橡胶，聚四氟乙烯
接头 VCR " 1/4、1/2
  Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接头和尺寸 Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm
电源要求 +15V,50mA;-15V,200mA
重量 1.0KG  
该公司产品分类： 气路配件 混气系统 质量流量控制器

M3030V小流量气体质量流量控制器M3030V

Normal 0 7.8 磅 0 2 MicrosoftInternetExplorer4

小流量气体质量流量控制器M3030V

 

气体质量流量控制器M3030V，采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，无需温度压力补偿。气体质量流量控制器M3030V是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体流量的稳流装置，能在较宽的量程范围内快速而精确地控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微的变化，也不会影响其正常的工作。

 

小流量气体质量流量控制器M3030V产品亮点：
-类    型：MFC气体质量流量控制器

-控制范围：10sccm ～ 30slpm （sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分） 

-准度等级: ±1% F.S

-耐    压：≤90bar

-标准接口：0-5VDC，4-20mA可选

-响应时间：≤2sec

-使用范围：2~100% for max range

-供电电源：+15~+28Vdc, 350Ma

-漏    率：1×10-9atm·cc/sec

-气路连接：1/4”SWG，1/8”SWG，3/8”SWG，1/4”VCR
-适用介质：所有气体（含腐蚀性气体和有毒气体）

-无需温度、压力补偿
 

小流量气体质量流量控制器M3030V

产品型号

 M3030V

 M3030A
  流量范围 （N2）

  10sccm ～ 30slpm

 10sccm ～ 30slpm
  响应时间

  ≤2秒

   ≤2秒
  准确度

   ≤±1% 满量程

   ≤±1% 满量程
 重复精度

   ≤±0.25% 满量程

  ≤±0.25% 满量程
 输出输入信号

  0~5Vdc

   0~5Vdc或4~20毫安
  供电

  +15~+28Vdc，350毫安

   +15~+28Vdc，350毫安
  耐压

  ≤90 bar

  ≤90 bar
 工作环境温度

   0~50 °C

   0~50 °C
 
 

应用领域：－分析仪器     －干刻（RIE/DRIE）     －燃料电池－生物技术     －气相色谱分析         －等离子刻蚀－激光焊机     －混气配气系统         －微反应装置－真空镀膜     －过程自动化           －石化工业

该公司产品分类： PM2.5传感器 空气质量传感器 氢气泄漏检测传感器HLS-440 VOC空气质量传感器 iAQ-engine

MPC面板安装型质量流量控制器

MPC 面板安装型质量流量控制器 MPC总体优点：结构简洁 、操作简便、容易控制功能丰富、 安装方便、容易替换（参考共享文件中的图片）

MPC使用特点：1. 通过超轻巧比例阀门的设定实现全自动流量控制.2. 通过微流量传感器，消除了温度影响和压力波动的影响。☆ 如果是清洁测量计，需要压力和温度的互相转换，并且由于设计规格和应用条件的不同会产生测量误差。(由于通向大气的次压力或后压力，该误差较大。)3. 甚至对于习惯使用清洁测量计的用户在使用MPC时也不存在不兼容现象。?实现小尺寸、轻质量、易操作、低价位！！MPC的有关参数1. 流量范围: 0 ～ 500ccm, 0 ～ 2, 0 ～ 5, 0 ～ 20LM2. 气体类型: 空气/氮气, 氩气, 二氧化碳 (CO2) 由于材质原因不能使用氧气。由于安全回路的原因不能使用燃气和氢气。→ 关注的重点是其物理限制和与CMQ不同的应用范围。3. 控制范围: 5 ～ 100%FS4. 控制精度: 2%FS5. 操作压差范围: 50 ～ 300kPa6. 耐压: 500kPa7. 气体接触材质: 黄铜8. 管子连接材质: Rc1/89. 电源: 24Vdc10. 流速设定方式: 标准 = 键操作选项-1 = 电压 (1 ～ 5Vdc) 输入/输出选项-2 = CPL 通讯 MPC的功能 1. 多点设定 : 可以设定4个SP值并且通过切换输入来改变2. 气体类型切换 : 标准气体可选 3. 气体类型设定 : 可以设定一个转换系数 4. 阀门强制开 / 关5. 缓慢启动和缓慢控制 : 可以在 1 ~ 6 秒内选择控制速度6. 流量积分和积分脉冲输出7. 阀门驱动输出状态监测8. “OK” 灯显示并且切换输出9. 事件灯显示并且切换输出10. 报显示并且切换输出 11. 阀门自动关闭 (可选) - 当累积流量值达到设定值时 - 当出现一些报警时

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