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详细内容
产品描述
Alpha-Step D-600探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D及3D测量，以及翘曲度和应力的2D测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。
探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。 可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。 通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。
主要功能
台阶高度：几纳米至1200μm
低触力：0.03至15mg
视频：500万像素高分辨率彩色摄像头
梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真
圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
紧凑尺寸：小占地面积的台式探针式轮廓仪
软件：用户友好的软件界面
主要应用
台阶高度：2D台阶高度和3D台阶高度
纹理：2D粗糙度和波纹度
形式：2D翘曲和形状
应力：2D薄膜应力
工业应用
大学，研究实验室和研究所
半导体和复合半导体
SIMS：二次离子质谱
LED：发光二管
太阳能
MEMS：微电子机械系统
汽车
医疗设备
还有更多：请与我们联系并探讨您的要求
应用
台阶高度
Alpha-Step D-600探针式轮廓仪能够测量从几个纳米到1200μm的2D和3D台阶高度。 这使其可以量化在蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP和其他工艺期间沉积或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低触力功能，可以测量如光刻胶的软性材料。.
纹理：粗糙度和波纹度
Alpha-Step D-600测量2D和3D纹理，量化样品的粗糙度和波纹度。 软件过滤功能将测量值分离为粗糙度和波纹度的部分，并计算诸如均方根（RMS）粗糙度之类的参数。
形式：翘曲和形状
Alpha-Step D-600可以测量表面的2D形状或翘曲。 这包括对晶圆翘曲的测量，例如在半导体或化合物半导体器件生产过程中，多层沉积层结构中层间不匹配是导致这类翘曲产生的原因。 Alpha-Step还可以量化包括透镜在内的结构高度和曲率半径。
应力：2D薄膜应力
Alpha-Step D-600能够测量在生产包含多个工艺层的半导体或化合物半导体器件期间所产生的应力。 使用应力卡盘将样品支撑在中性位置精确测量样品翘曲。 然后通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。
关键词：轮廓仪 台阶仪 粗糙度
探针式轮廓仪
HRP®-260是一款高分辨率cassette-to-cassette探针式轮廓仪，可提供几纳米至300微米的台阶高度测量功能。 P-260配置支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D及3D 更多详细探针式轮廓仪
Tencor P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，可提供几纳米至一毫米的台阶高度测量功能，适用于生产环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其 更多详细探针式轮廓仪
Tencor P-17支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。 更多详细探针式轮廓仪
Tencor P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。 更多详细
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