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公司新闻
HC-PAX 多通道电流矩阵模块，赋能半导体晶圆级微弱漏电流高通量并行测试
点击次数：73发布时间：2026/10/14 10:52:54
HC-PAX多通道电流矩阵模块，赋能半导体晶圆级微弱漏电流高通量并行测试
半导体晶圆器件的栅极漏电流、关断漏电流是评判氧化层完整性、芯片长期可靠性的关键指标。传统单台静电计、源表只支持单通道采集，整片晶圆数十至上百颗管芯只能够逐点轮换测试，测试周期长，频繁换线还会引入时序误差与接触干扰，难以实现多器件同步比对。华测仪器HC-PAX多通道电流矩阵模块，作为仪表通道扩展组件，可对接Keithley系列静电计与源测量单元，将单台仪表升级为多通道自动化测试系统，服务晶圆级可靠性WLR测试。
模块采用矩阵开关架构，基础单元8通道，单机箱支持128通道，多机箱级联拓展至1024通道；通道卡支持热插拔，按需灵活配置通道数量，高密度集成相比多台分立仪表可节省90%机柜空间。通道切换时间20ms，具备1μV低热电动势、典型1fA低漏电流设计，电流覆盖±1pA~±100mA，减小串扰与环境噪声，保障pA级微弱漏电信号采集真实可靠。各通道可单独设置恒流、脉冲、扫描模式以及通断时序，支持长时间无人值守连续I-V扫描测试。
借助HC-PAX，可同步完成晶圆上多颗MOS管、二极管、电容器件漏电流批量采集，对比不同位置器件漏电离散性，快速定位工艺弱点。既可以用于研发阶段工艺迭代验证，也可用于样品可靠性老化摸底。
未来华测仪器持续深耕微弱信号多通道测试技术，完善半导体与功能材料测试配套产品，助力国内半导体器件可靠性测试国产化发展。
