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公司新闻
Huace-AT3000 传感器多功能综合测试系统，赋能 MEMS 传感器宽温域高通量性能评价
点击次数：203发布时间：2026/9/14 10:45:05
Huace-AT3000传感器多功能综合测试系统，赋能MEMS传感器宽温域高通量性能评价
MEMS传感器应用于消费电子、工业测控、汽车电子领域，器件包含电阻式、电容式、压电式等多种类型，在-20℃~500℃宽温区间内，电阻、电容、压电输出等参数直接决定传感器灵敏度与工作可靠性。传统测试设备功能单一，往往需要多台仪器拼接，难以实现多类型传感器并行批量测试。北京华测试验仪器Huace-AT3000传感器多功能综合测试系统，集成电阻、电容、压电、电化学五大测试模块，实现多参数协同检测，为MEMS传感器研发与批量筛选提供集成式高通量测试平台。
系统搭载红外微距测温模块，20μm测温分辨率，-20℃~500℃宽温域测温准度可达±2℃；电阻、电容、压电模块均支持40通道同步测量，通道切换速度0.05s /通道，电化学模块支持8通道单独控制，满足多只传感器同时开展对比试验。电阻模块电流低至10pA，压电模块可捕捉1fA级别微弱电流；电容模块支持10MHz高频测试，可完成扫频、I-t、I-V、阻抗谱等多种测试模式。
模块化硬件架构，搭配高性能测控工作站（至强W处理器、64G内存、4T硬盘），可完成海量试验数据实时存储与可视化建模，一键导出Z/Y、L/C/D/Q等全套参数；可外接定制化高低温环境试验箱，复现传感器实际服役温度应力。设备适配电阻、电容、压电型MEMS器件，可用于新材料配方验证、样机性能摸底、批次样品高通量筛选，快速找到器件温漂、灵敏度衰减等问题。
未来华测仪器将持续深耕传感器与功能材料测试领域，不断完善多通道综合测试装备，助力国内MEMS传感器产业研发迭代。
