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公司新闻
多通道电流矩阵模块，赋能晶圆级器件并行微弱漏电流检测
点击次数：204发布时间：2026/8/14 11:01:17
多通道电流矩阵模块，赋能晶圆级器件并行微弱漏电流检测
国内半导体产业工艺迭代提速，晶圆级可靠性WLR测试、MOS器件栅极漏电流筛查需求持续攀升。传统单台静电计、源测量单元仅支持单路信号采集，整片晶圆数十至上百颗芯片只能逐点轮换测试，检测周期冗长，人工频繁切换线缆还会引入接触误差、时序偏差，难以实现多样品同步数据对比。北京华测试验仪器HC-PAX多通道电流矩阵模块，专为微弱电流多工位自动化测试打造，可快速完成仪表通道扩容，构建高密度并行半导体测试系统。
HC-PAX采用高密度模块化矩阵开关架构，基础单元8通道，单机箱支持128通道，多机箱拓展可至1024通道，相比单仪表分立方案节省90%机柜空间，大幅降低整套测试系统线缆与硬件投入成本。设备搭载20ms毫秒级高速切换开关，支持动态负载快速切换、连续高速I-V扫描；信号通路优化低电容、低热电动势（1μV）设计，典型漏电流低至1fA，可稳定覆盖±1pA~±100mA宽电流区间，适配晶体管关断漏电流Ioff、栅极Gate Leakage、晶圆电容微弱漏电等pA级高准度测量场景，程度减小串扰与环境噪声干扰，保障微弱信号测量完整性。
模块兼容Keithley 6517B、6430等主流静电计与各类源表，依托RS485通信实现全通道单独程控，可自定义各通道恒流/脉冲/扫描工作模式、输出电流数值与通断时序，支持72小时无人值守长时间连续测试，批量器件数据同步采集、自动存储，减小人工操作带来的数据离散问题。完整硬件防护与标准化通信协议，可无缝集成探针台、自动化产线，适配芯片工艺研发、晶圆批量可靠性验证、分立半导体器件出厂筛查全流程。
依托的多通道微弱信号切换能力，HC-PAX多通道电流矩阵模块已成为半导体实验室、封测企业搭建并行电性测试平台的配套组件，压缩晶圆测试节拍，提升仪表设备利用率。未来华测仪器将持续优化矩阵开关信号隔离与抗干扰技术，推出适配第三代半导体宽温、高压工况的定制化多通道切换方案，助力国内半导体检测设备国产化升级。
