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上海隽思实验仪器有限公司

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隽思HMDS烘箱在功率半导体芯片及器件厂获得好评

发布时间:2023/4/11 9:29:44关注度:729

    我司HMDS烘箱在某功率半导体芯片及器件厂顺利生产多年,以0故障、优服务获得优质供应商好评!

  该公司业从事功率半导体芯片及器件的研发、生产和销售,是一家以芯片设计、晶圆制造、封装测试的垂直一体化经营为主的功率半导体芯片及器件制造企业。公司深耕功率半导体行业20多年,持续进行产品的研发创新,不断拓展产品线和产品应用域,从单品类产品到多品类产品,从区域市场到国内市场,从个别应用域到多个应用域。

  HMDS烘箱将HMDS气相沉积到半导体制造中的硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经烘箱加温后可成功地将基地表面由亲水性变为疏水性,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。从而降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。
HMDS烘箱性能:


设备型号:JS-HMDS90

工作室尺寸:450×450×450mm(可定做)

温度范围:RT+10-250℃

真空度:≤133pa

操作界面:人机界面

运行方式:自动运行,一键操作

真空泵:无油涡旋泵

安全性:HMDS泄漏报 警提示,实时检测

隽思HMDS烘箱的特点:
   由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理,所以不会有尘埃的干扰,再者,由于该系统是将"去水烘烤"和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在容器里先经过100℃-160℃的去水烘烤,再接着进行HMDS处理,不需要从容器里传出,而接触到大气,晶片吸收水分子的机会大大降低,所以有着更好的处理效果。
 


关键字:HMDS烘箱



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