1. 选择HMDS烘箱的容积

   内腔尺寸：450*450*450mm，1-8寸片均适用，4寸晶圆可处理200P/次；

2. HMDS烘箱真空泵的选择

   根据腔体容积，选配合适型号的真空泵。常用涡旋式真空泵又分为油泵和干泵。

◆ 低噪声，低振动

3.HMDS烘箱辅助功能选择：

◆HMDS药液泄漏报警提示功能

◆HMDS低液位报警提示功能

◆工艺数据记录功能

◆药液管道预热功能 

◆程序锁定保护等功能

   HMDS烘箱有称为智能型HMDS真空系统​通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层 HMDS，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。

智能型HMDS真空系统（JS-HMDS90-AI）技术性能：

1.尺寸（深*宽*高）

内腔尺寸：450×450×450（mm）（可定制）

外形尺寸：750×1120×1650（mm）

2. 材质

外箱采用优质冷轧板喷塑，内箱采用 316L 医用不锈钢

3.温度范围

RT+50-200℃

4.温度分辨率

0.1℃

5.温度波动度

≤±0.5

6 真空度

≤133pa（1torr）

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