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高性能聚焦离子束系统
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更新日期：2026/9/8 4:00:33
生 产 地：日本
产品型号：MI4050
商家名片
刘**
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详细内容
产品简介
高性能聚焦离子束系统MI4050是具有以下特征的高性能聚焦离子束系统：新型电子光学系统，可达到高水准的SIM像分辨率・大束流使加工速度得以提升・提高了低加速电压的分辨率，使得高品质TEM样品制备成为可能。
可用于截面加工观察，高品质TEM样品制备，电路修复，Vector Scan加工，微纳米微细图形及磨具加工，利用沉积功能制作3维构造等众多样品加工应用。
产品特点大探针电流90nA，实现快速加工和大面积加工
通过提高低加速电压（0.5kV～）加工及低加速电压二次电子图像分辨率，实现制备损伤率更低的TEM样品
可观察高分辨率SIM成像（二次电子成像分辨率高达4nm@30kV）
采用高精度5轴电动机械优中心马达台
可在样品台移动（包括倾斜）时自动对多个部位进行多种加工。优越的操作性能和多种多样的加工模式
截面制备程序加工TEM/STEM样品程序加工
自动连续加工
TEM样品自动连续精加工软件
位图加工
Vector Scan加工
制备纳米精度三维结构样品及其他
SIM像三维重构分析
等间隔截面加工与截面观察的往复进行，可取的多张截面连续SIM像，并进行3维重构。由此可判断样品中颗粒，孔洞等3维分布状态。
使用多路气体系统（MGS-II）修复电路
该系统可对应保护膜材料、配线材料、绝缘膜、加速蚀刻等多种用途，照射多种气体。
丰富多样的坐标链接功能
日立高新技术公司独创的坐标链接功能丰富多样，可确定正确的加工位置和大幅缩短时间。
参数规格
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 样品尺寸 | 50mm×50mm×12mm（t）以下 |
| 样品台 | 5轴电动机械优中心马达台 |
| 加速电压 | 1～30kV （0.5kV～ 选配） （0.5～1.0kV ： 步长0.1kV） （1.0～2.0kV ： 步长0.2kV） |
| 二次电子分辨率 | 4nm＠30kV |
| 大探针电流 | 90nA |
| 大探针电流密度 | 50A/cm2 |
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