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C11627-01 纳米膜厚测量仪系列

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更新日期：2026/4/13 21:06:44

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产品型号：C11627-01

简单介绍：C11627-01型光学膜厚测量仪是一款利用光谱相干度量学工作的非接触型膜厚测量系统。因其将光源、分光光度计和数据分析单元集成为一个单元，所以其配置紧凑，仅由一个主单元和光纤组成。此仪器设计紧凑，节省空间，适合安装进用户的系统中，可进行多种目标的测量。此外，该仪器为无参照物测量，因此省略了烦人的参照物测量，可长时间稳定地进行高速、高准确度测量。

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详细内容

C11627-01 纳米膜厚测量仪系列

C11627-01型光学膜厚测量仪是一款利用光谱相干度量学工作的非接触型膜厚测量系统。因其将光源、分光光度计和数据分析单元集成为一个单元，所以其配置紧凑，仅由一个主单元和光纤组成。此仪器设计紧凑，节省空间，适合安装进用户的系统中，可进行多种目标的测量。此外，该仪器为无参照物测量，因此省略了烦人的参照物测量，可长时间稳定地进行高速、高准确度测量。欢迎您登陆滨松中国全新中文网站 http://www.hamamatsu.com.cn/ 查看该产品更多详细信息！

特性

无参照物工作
尺寸紧凑，节省空间
高速、高准确度
不整平薄膜精确测量
分析光学常数（n,k）
可外部控制

参数

型号	C11627-01
可测膜厚范围（玻璃）	20 nm to 50 µm^*1
测量可重复性（玻璃）	0.02 nm^{2 3}
测量准确度（玻璃）	±0.4 %^{3 4}
光源	LED
测量波长	420 nm to 720 nm
光斑尺寸	Approx. φ1 mm^*3
工作距离	10 mm^*3
可测层数	最多10层
分析	FFT 分析，拟合分析，光学常数分析
测量时间	19 ms/点^*5
光纤接口形状	FC
外部控制功能	RS-232C,Ethernet
电源	AC100 V to 240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗	70W