薄膜应力及基底翘曲测试设备FSM 128

快速、非接触式测量

产品特点：

在衬底镀上薄膜后, 因为两者材质不一样, 所以会引起应力. 如应力太大会引起薄膜脱落, 最终引致组件失效或可靠性不佳的问题. 薄膜应力激光测量仪利用激光测量样本的形貌,透过比较镀膜前后衬底曲率半径的变化, 以Stoney’s Equation计算出应力, 是品检及改进工艺的有效手段。

快速、非接触式测量

样品台可通用于3至8寸晶圆

128L型号适用于12寸晶圆

128G 型号适用于470 X 370mm样品，

另可按要求订做

专利双激光自动转换技术

如某一波长激光在样本反射度不足，系统会自动使用

另一波长激光进行扫瞄，满足不同材料的应用

全自动平台，可以进行2D及3D扫瞄（可选)

可加入更多功能满足研发的需求

电介质厚度测量

光致发光激振光谱分析

（III-V族的缺陷研究）

500 及 900°C高温型号可选

样品上有图案亦适用

应用行业:

LED

平板显示

半导体

硅

玻璃

技术参数：

测量方式: 非接触式(激光扫瞄)

样本尺寸:

FSM 128 : 75 mm to 200 mm

FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

FSM 128G: 最大550×650 mm

扫瞄方式: 高精度单次扫瞄、2D/ 3D扫瞄(可选)

激光强度: 根据样本反射度自动调节

激光波长: 650nm及780nm自动切换(其它波长可选)

薄膜应力范围: 1 MPa — 1.4 GPa(硅片翘曲或弯曲度变化大于1 micron)

重复性: 1% (1 sigma)*

准确度: < 2.5%*

*使用20米半径球面镜

设备尺寸及重量:

FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 270 lbs

FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 280 lbs

FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 400 lbs

电源 : 110V/220V, 20A