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真空镀膜设备

提供者：上海米开罗那机电技术有限公司发布时间：2022/6/29 15:07:08 阅读次数：107次进入该公司店铺

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沈**

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在科技发展迅速的大环境下，真空镀膜技术得到了飞速的发展。薄膜技术可以改变工件表面性能，提高工件耐磨损、抗氧化和耐腐蚀等性能，从而延长工件的使用寿命。

薄膜技术也可以实现光学、电学、半导体薄膜器件的制备，具有很高的经济价值。提出一种真空镀膜系统，本系统由真空镀膜系统和真空手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。

真空镀膜系统主要用于太阳能电池钙钛矿、OLED和PLED、半导体制备等实验研究与应用。

蒸发镀膜与真空手套箱组合，实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作，使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中，消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响，保障了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。