什么是气浮转台，特点有哪些，指标参数如何_技术交流_仪器仪表技术文献

什么是气浮转台，特点有哪些，指标参数如何

提供者：北京瑞邦精控科技有限公司发布时间：2022/5/4 13:47:41 阅读次数：173次进入该公司店铺

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气浮转台简述：
气浮转台无减速机、皮带等中间机构，而直接与负载连接并提供动力和动作的驱动形式。通过排除中间结构，动力传递系统的刚性提高，并可进行无齿隙基础上的高速且精密的驱动。由此可获得各种优点，如无反向间隙，定位精度高，提高机械性能，节省空间及降低维护成本等。

气浮转台选用力矩电机直接驱动负载，既消除了齿隙回差，又缩短了传动链，使机械结构简单紧凑，使控制系统具有反应速度快，线性度好等优点，提高了系统的稳定性及静态，动态控制精度。气浮轴承和力矩电机配合使用,提高了转台的承载能力，并使气浮转台结构简化。轴向跳动误差和径向跳动误差在亚微米别，高精度的反馈信号，为控制系统提供精密闭环控制。

瑞邦精控气浮转台主要特点：
定位精度小于1arcsec
同步轴向跳动误差10nm
同步径向跳动误差100nm
回零位置准确
无气浮抱死的故障
手动与电动跳动误差一致

气浮转台主要技术参数：
负载质量、尺寸；转台定位精度、重复定位精度；Max转速，输出扭矩；轴向和径向跳动；控制和驱动形式等。
气浮转台可加装电滑环装置，用于MEMS测量系统等。可组装AB轴的形式，精密的垂直和正交安装方式，打破国际技术垄断。北京瑞邦精控可定制高精度重负载气浮转台系统解决方案。