AI 扫描电镜自动检测流程

飞纳电镜 Phenom AI 的样品定位 系列拍摄 质量检验与报告生成

飞纳电镜 Phenom AI 智能电镜，将自然语言交互、图像识别与扫描电镜自动控制组合在同一检测流程中。系统接收任务指令后，可继续执行样品定位、自动对焦、多倍率拍摄、图像质量检查和报告生成，主要面向步骤重复、图像数量较大和需要连续运行的检测任务。

图 1 飞纳 AI 电镜实验室应用场景

AI 扫描电镜的能力构成

这一变化是从图像识别向语义理解延伸。AI 负责把用户表达转化为操作任务，扫描电镜与自动化硬件负责执行定位、对焦和拍摄等动作。

典型自动检测流程与参数

具体功能、检测条件和报告格式应以设备配置及现场测试为准。

图 2 飞纳 AI 电镜自动拍摄与图像质量检查演示画面

应用一 法医硅藻图像筛选

介绍，单份法医硅藻样品可能需要拍摄上万张显微照片，其中含硅藻的仅有 10 至 20 余张。AI 用于在大批量图像中自动筛选目标，减少人工逐张检索的工作。该应用体现的是高图像量、低目标占比场景下的自动识别能力。

应用二 锂电粉体粒径与缺陷识别

在锂电池粉体检测中，AI 可以进行粉体粒径分析，以及碎裂、裂纹等缺陷颗粒识别。结合 ParticleX 等能力，还可以进行连续、逐颗粒的能谱分析，用于减少工程师逐颗粒筛查的重复操作。

图 3 锂电池粉体样品的电镜观察演示画面

长期自动运行的硬件基础

自动定位和批量拍摄会频繁调用电子源与样品台。飞纳电镜采用 3000 小时寿命的 CeB6 灯丝，以及精度达到 ±5 μm、可支持数百万次移动的马达台。这些部件用于支撑重复定位和较长时间的连续任务。

图 4 飞纳 AI 电镜硬件与 ParticleX 应用演示画面

适用任务特征

AI 扫描电镜更适合以下任务：检测步骤明确且重复执行；需要多倍率连续取图；图像数量较大且需要自动筛选；需要将成像、质量检查和报告输出连接成连续流程；需要开展逐颗粒分析。具体配置应根据样品类型、目标特征和检测要求进行确认。

结论

飞纳电镜 Phenom AI 扫描电镜展示了从自然语言输入到设备执行的自动检测链路。其价值主要体现在把样品定位、对焦、系列拍摄、图像质检和报告生成组织成连续任务，并将图像识别用于硅藻筛选、锂电粉体粒径与缺陷颗粒分析等场景。