医用气体流量传感器是一个在增长的细分市场。行业研究显示，2025年全球医用气体流量传感器市场价值约13.3亿美元，2026年预计增长至14.4亿美元，到2032年有望达到23.5亿美元，复合年增长率约8.47%。呼吸机、麻醉机、制氧机等设备都需要气体流量感知，而不同设备对传感器的诉求并不相同。

差压式和热式，选的是不同的“脾气”

差压式传感器通常可以与现有气动架构整合，热质量式传感器则直接测量质量流量，在气体混合物和低流量条件下简化校准。设备设计人员需要根据具体应用在精度、响应速度和环境适应性之间做权衡，而不是把某一种原理当作通用答案。呼吸机场景还涉及侵入性和非侵入性使用的不同消毒与冗余标准，这对传感器的封装和材料提出了附加要求。

MEMS在医疗场景的角色

MEMS流量传感器体积小、功耗低，适合集成到呼吸监测和便携式医疗设备中。有研究指出，MEMS气流传感器在慢阻肺早筛、居家肺功能评估和远程医疗等场景中有工程转化潜力。芯笙微纳的MEMS流量传感技术面向微小流量气体测控，医疗设备厂商在评估配套方案时，把消毒方式、气体湿度和设备使用寿命一并纳入讨论，比只看量程和精度更容易找到贴合临床实际的配置。