重磅新品！国仪量子200kV场发射透射电镜发布

10月18日，在2026年全国电子显微学学术年会上，国仪量子正式发布自主研发的200kV场发射透射电镜TEM-F200。以0.10nm信息分辨率、高灵敏度元素分析与自主研制的核心部件，让国产透射电镜走进材料科学与半导体的主战场。这标志着国产透射电镜从研制突破加快迈向产品化交付阶段。

长期以来，透射电镜市场由少数国际厂商主导。设备采购、关键部件供应、维修维护、软件适配、应用服务—国内用户的每一个环节，都长期依赖外部供给。透射电镜实现国产化，不只是技术上的突破，更意味着把供应链的主动权握在自己手里。

钱花在配置上，不花在溢价上。

这是国仪量子为透射电镜给出的答案。200kV场发射透射电镜TEM-F200的推出，补上的正是这块短板。不是多一个型号，而是让国产透射电镜走进材料科学与半导体的主战场。

它凭什么做到0.10nm？——硬核底座

一台透射电镜的成像上限，往往由几个关键部件决定。

自研高压电源，加速电压稳定性小于10ppm/h，加速高压纹波小于0.5ppm；配高亮度场发射电子枪，低能散、高相干性，带来更优信息极限。电压稳、束流稳，后面的成像与分析才立得住。

恒功率水冷物镜，线圈并组绕制实现功率恒定，无论激励如何变化，透镜温度保持恒定；样品台为X/Y/Z/α四轴，配双倾样品杆可实现五轴，倾转角α为±30°、β为±25°，标配单倾杆。

聚光镜光阑、物镜光阑、选区光阑全自动控制，集成于PC端，位置记忆、一键调整。

自主研制的“星耀-16M”光纤耦合CMOS相机：9μm像元CMOS传感器，4K×4K像素，1:1光纤耦合，全分辨率帧率可达24fps；相机控制与图像处理集成至电镜主程序，采集与后处理在同一套软件里完成。透射电镜最核心的成像部件之一，国产有了专用方案。

产品优势

200kV场发射透射电镜

高分辨成像与高灵敏度元素分析，一台机器兼顾：Super-EDS超大面积极谱采用对插式双探头，SDD总探测面积200mm²，无窗设计，能量分辨率≤127eV，元素分析又快又准。

关键部件，自主研制：主相机“星耀-16M”，正是国产TEM专用光纤耦合CMOS相机：100%占空比与超低读出噪音，合并像素后帧率优于96fps。核心部件自己掌握，供应链才稳。

人机分离，全流程自动：荧光屏相机画面实时传输至PC显示器，工程师不必守在镜筒旁；高压自动控制、电子枪自动启停、整机状态实时显示、真空系统自动抽放气、样品位置自动导航、主相机与STEM探测器自动控制，操作更轻松。

拓展性留在设计里：原位样品杆、冷冻组件、侧插相机、EDS、EELS、旋进电子衍射，均可按需接入，随课题一起成长。

服务，以标准化为准：全天候技术支持热线；2小时内提供远程技术指导；48小时内全国范围上门服务；原厂正品备件快速更换。

它到底能做什么？——样品说话

案例：从半导体到材料

器件局部纳米结构及晶格条纹细节清晰可见，FFT结果显示分辨率达到了1.045Å。

截面的明场透射图像中，多层薄膜与介质层构成的器件结构层次分明。

TEM-BF（左）与STEM-HAADF（右）图像，可见晶内析出相、不连续的晶界析出相及晶界无析出带。

颗粒整体呈近圆形，外层可见非晶氧化层。

从120kV到200kV，覆盖更多可能

同期，国仪量子还发布了120kV场发射透射电镜TEM-F120。它配备肖特基场发射电子枪，兼顾高衬度与高分辨成像；综合换样时间小于5分钟，电镜空间与工作空间分离，减少人为干扰，操作体验舒适，更加适配生命科学、常规材料科研等场景。

2026年全国电子显微学学术年会期间，欢迎莅临国仪量子展台，近距离了解TEM-F200和TEM-F120的进展。

200kV场发射透射电镜TEM-F200，预计12月起接收测样申请。