固态电池被行业视为下一代电池技术的重要方向，干法电极则是适配全固态电池制造的关键工艺之一。与传统湿法电极不同，干法电极不使用液态溶剂，将活性材料、导电剂和粘合剂以固态粉末形式混合后通过纤维化成型。这个变化对产线环境的气体控制提出了新的要求。

硫化物路线的“怕水”问题

在固态电解质的几条技术路线中，硫化物体系对空气和水分比较敏感。有券商报告指出，硫化物固态电解质的制造环境干燥要求至少达到-40℃至-60℃露点。钠离子电池的干法电极工艺中，部分场景的露点要求甚至更低。这意味着产线需要持续通入干燥气体来维持低湿环境，而干燥气体的流量控制，直接关系到腔体露点能否稳定在设定区间。

除了露点，部分固态电池工艺还涉及特定气氛的配比。例如电解质烧结工序可能使用高纯氩气配合少量氢气，锂金属负极保护则需要氩气与六氟化硫的混合气。这些混合气的比例控制，同样依赖流量测控设备。

干法工艺对流量控制的间接要求

干法电极的核心是粉末的纤维化和压延成型，本身并不像CVD那样直接消耗反应气体。但产线环境的气体控制是工艺稳定性的基础条件之一。如果干燥气体的流量出现波动，露点随之漂移，硫化物电解质可能在混合或辊压环节接触到超出容忍范围的水分，影响材料性能。

青岛芯笙微纳的气体质量流量计和控制器产品，在工业气体流量测控方面有技术积累。对于固态电池设备厂商来说，干法产线的气体流量控制需要关注的不是单一的大流量点，而是干燥气体、保护气体和可能的气氛组分在多个位置的小流量、稳定供给。这个场景的特点是“流量不大，但断不得、偏不得”。