半导体领域液体颗粒度检测解决方案

面向超纯水、湿电子化学品、CMP抛光液及半导体工艺用液的微量颗粒检测

一、行业背景与检测挑战

半导体制造对工艺介质中的颗粒污染近乎“零容忍”。晶圆制程中，亚微米甚至纳米级颗粒一旦沉积在晶圆表面或feature内部，即可能导致图形缺陷、良率损失。随着制程节点演进，芯片关键尺寸不断缩小，对超纯水、湿电子化学品（酸、碱、蚀刻液、清洗液、剥离液）、CMP抛光液等工艺介质的颗粒控制要求同步收紧。

·指标趋严　超纯水（UPW）与湿电子化学品的颗粒指标已向0.05~0.1 µm级粒径档推进，SEMI标准对各类化学品按等级给出了严格的颗粒物限值；

·基质复杂　样品基质多样：超纯水本底极低、化学品腐蚀性强、抛光液颗粒浓度高且易团聚，对检测原理、接触材质与进样方式提出差异化要求；

·数据要求高　工艺介质多为透明或弱色液体，但对极低浓度小粒径颗粒的检出能力、重复性与数据可追溯性要求极高。

二、方案概述

方案核心：以散射法专用产品线覆盖高要求场景——KZ系列在线式（0.05~20 µm，直角/前向散射法）负责超纯水与化学液的在线连续监测，KT系列实验室离线式（0.1~20 µm）支撑化学品进厂验收与放行，KTZ系列一机两用（离线+在线，0.1~20 µm）兼顾产线灵活部署；以QJL-2全自动计数粒度仪（0.5~100 µm，光阻法+双传感器、自动稀释）覆盖高浓度CMP抛光液等常规量程检测；KZD系列上下游颗粒计数器可同步开展滤芯过滤效率与纳污容量评估。多线协同，实现半导体工艺介质0.05~100 µm全量程颗粒监控。

三、产品配置与场景适配

KZ/KT系列共性技术指标：半导体激光光源；3~8检测通道；7英寸彩色触摸屏；LAN、USB、RS232/485数据输出（4-20 mA选配）；传感器窗口污染、光源状态、液体泄漏等状态指示；KZ系列支持0.6 MPa管路压力、外径4 mm/内径2 mm PFA管路接口，适配在线安装。

四、方案价值

·全量程覆盖　0.05~100 µm全量程覆盖，一套方案满足超纯水、化学品、抛光液等不同介质的粒径检测需求；

·亚微米高灵敏　KZ-50H检测粒径下限下探至0.05 µm，契合半导体行业颗粒指标持续下探的趋势；散射法专用产品线针对亚微米颗粒检测优化；

·方法学与数据可靠　实验室产品具备分级登录、多级权限管理、操作日志、数据备份与U盘存储等数据完整性功能，RS232数据采集软件可生成PDF检测报告，配合稀释法交叉验证等成熟方法体系，保障化学品颗粒数据真实可信；

·客户实践　团队拥有二十余年颗粒检测仪器行业积累，服务数千家用户，产品已在半导体及电子化学品领域铺开，可配合客户建立从进厂检验到产线监控的完整颗粒管控流程。

五、适用行业

半导体制造与封测、湿电子化学品生产、电子级溶剂与蚀刻液、CMP抛光液、滤芯与过滤器制造、光伏与面板显示、超纯水制备等行业。

关于罗根科兴

天津市罗根科兴科技有限公司是专注于液体颗粒计数器研发与生产的科技创新型企业。技术团队源自2002年由天津大学投资创办的天津市罗根科技有限公司（该公司已于2021年注销），原核心团队于2021年新注册成立天津市罗根科兴科技有限公司。公司注册于天津滨海高新技术产业开发区（国家自主创新示范区），拥有占地3000余平方米的现代化研发生产办公基地，研发骨干来自天津大学、北京大学等双高校，产品涵盖台式、便携式、在线式、上下游颗粒计数器多种类型。

公司已通过ISO9001质量管理体系、ISO14001环境管理体系及职业健康安全管理体系认证，系高新技术企业，2025年入围中国品牌创新发展工程，长期参与国家及行业标准起草工作。服务覆盖油液污染度检测、半导体超纯化学品、液冷清洁度、制药与乳剂等制造与生命科学领域，用户遍布航空、航天、重工机械、电力、石油、化工、交通、港口、冶金、机械、汽车制造等领域。