HCEV-10KV非接触式高压静电电压表在LCD液晶面板生产电荷积累在线监测中的应用

LCD液晶面板制程中，切割、镀膜、传送工序会让面板表面积累静电电荷，过高静电电位会击穿薄膜晶体管，造成面板暗点、坏点不佳。接触式测量会划伤脆弱面板表面，普通非接触静电表对测物-样品间距灵敏，产线传送抖动带来距离波动，造成读数偏差。HCEV-10KV采用场消技术，具备间距不灵敏特性，适配产线LCD面板静电在线监测。

一、传统面板静电监测痛点

接触式测物会刮伤液晶面板光学薄膜，造成产品直接报废。

普通非接触静电表对测物与样品间距高度灵敏，产线传送抖动、工件位置偏移，测量数据漂移失真。

响应速度慢，无法捕捉面板经过测物瞬间的短时静电峰值。

无模拟复现输出，无法接入产线PLC做闭环除静电控制，只能人工目视读数。

二、LCD面板静电监测测试方案

HCEV-10KV采用场消技术，非接触测量，测物和面板间距小幅波动不影响测量准度；1V高分辨率，可分辨面板表面微弱静电电位。1kV阶跃响应小于200μs，能够捕捉传送过程瞬时静电峰值；BNC电压监测输出输出1/1000比例复现信号，可对接产线控制系统，联动离子风机做闭环静电减小；支持机架式安装，适配流水线集成，具备便捷调零功能减小基线偏移。

三、产线应用价值

液晶面板生产线上实时监测面板表面静电电位；识别镀膜、搬运工序静电异常点位；联动除静电装置实现闭环管控；降低静电造成晶体管击穿、面板坏点不佳，提升产品良率。