2020年4月，青岛芯笙微纳电子科技有限公司正式成立。创始人陶继方是山东大学信息学院教授、传感器中心主任。公司的起点，是MEMS流量传感器芯片的设计。

这条路从最开始就不轻松。气体质量流量控制器是半导体晶圆制造前道工艺中的核心零部件，广泛应用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入等关键工艺环节，其性能直接影响芯片制造的良率与一致性。长期以来，这个市场由日本HORIBA、美国MKS和Brooks等海外企业主导。

芯笙微纳选择了一条从底层技术做起的路径。公司从MEMS流量传感器芯片设计起步，逐步构建起覆盖芯片设计、模组开发到智能仪表系统集成的能力。2020年，公司推出国内款微型数字风速计和国产高精度气体质量流量计；2021年，高精度工业级气体质量流量控制器实现量产。

研发团队汇聚了来自新加坡微电子研究院、德国卡尔斯鲁厄理工学院及国内高校的专家，形成了“海外技术积累+本土产业化”的人才结构。公司与山东大学共建传感器测控联合实验室等研发平台，产学研协同为技术迭代提供了支撑。

一个值得记住的时刻发生在2023年初。“光伏产业忽然来了一个上万台的大订单。”预研部总监田伟回忆道。那是公司成立以来最大的一笔单笔订单，从芯片到仪表全部自主生产。

如今，芯笙微纳的产品已远销全球21个国家和地区，在全球50多家半导体及光伏设备企业稳定出货。公司面向半导体产业的S700系列和面向光伏产业的S300系列，分别瞄准不同的应用场景。截至2024年底，公司已承担2项国家重大研发计划专项和1项山东省重大创新工程项目，累计申请发明专利60余项，入选国家高新技术企业、山东省专精特新企业。

2024年，公司凭借“半导体装备核心零部件：气体流量测控技术与产业化”项目，从全国3.5万个参赛项目中突围，斩获“创客中国”全国总决赛三等奖。2026年初，“面向制程：半导体级气体质量流量控制器研制及国产化”项目入选“青岛好成果”十大转化案例。

从大学实验室到全球市场，芯笙微纳的六年，是国产MFC从技术突破走向市场验证的一个缩影。这条路还在继续。