2026年，“十五五”规划将集成电路产业列为国家战略必争领域。半导体设备作为产业链核心环节，被纳入重点攻关清单。政策资源向制程设备、关键零部件、上游材料三大短板集中倾斜。

在半导体产业链的众多环节中，气体质量流量控制器（MFC）是一个容易被忽略但不可或缺的部件。刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺都离不开它。一台MFC的性能，直接影响着芯片的良率和产线的稳定性。

长期以来，这一市场被日本Horiba、美国Brooks、MKS等品牌主导。国内半导体产线使用的MFC产品，国产化率不足10%，制程领域更是低于5%。这意味着，国内半导体制造企业在这个核心部件上仍然高度依赖进口。

青岛芯笙微纳电子科技有限公司正在试图缩小这一差距。公司聚焦气体流量测控领域，构建了从MEMS传感芯片设计到智能仪表系统集成的全链条能力。公司荣获山东省专精特新企业称号。基于自主研发的MEMS流量传感器芯片，芯笙微纳推出了适配半导体制造场景的流量计与控制器产品。

行业观察人士指出，随着国内半导体设备国产化率提升，核心零部件必须同步跟上。气体流量测控产品的自主化，关乎的不只是成本，更是产业链的安全性和响应速度。在半导体产业链自主可控的大背景下，流量测控设备不能“掉队”。