2026年初，上海临港新片区一个总投资50亿元的半导体核心零部件项目开工，其中气体流量控制器被列为重点产品之一。几乎同一时期，青岛芯笙微纳电子凭借“半导体级气体质量流量控制器研制及国产化”项目入选“青岛好成果”十大转化案例。

两件事放在一起看，释放出一个信号：气体流量控制器这个长期被忽视的细分领域，正在成为产业链关注的焦点。

质量流量控制器（MFC）在半导体制造中的作用，可以理解为给芯片制造过程“配气”。在化学气相沉积、蚀刻、掺杂等工艺中，需要将多种特种气体以特定的流量和比例送入反应腔室。MFC的任务，就是测量并控制这些气体的流量。

这个市场的规模不小。据行业机构统计，2024年全球质量流量控制器市场规模约为13.35亿美元，预计到2031年将增长至23.47亿美元。其中，半导体用MFC是增长最快的细分市场之一，年复合增长率预计超过10%。

但长期以来，这一市场被少数国外品牌主导。国内半导体产线使用的MFC产品，国产化率不足5%。在制程领域，这一比例更低。

变化正在发生。除了青岛芯笙微纳电子，近年来还有多家国内企业在MFC领域取得技术突破。2025年，青岛市委书记曾赞荣到芯笙微纳调研，勉励企业持续深耕细分领域，增强家电产品和半导体设备部件的配套能力。

气体流量控制器的国产化，关乎的不只是成本，更是产业链的安全性和响应速度。对于国内芯片制造企业而言，支持国产核心部件正在从“备选”变为“必选项”。这场变革，还在继续。