MFC330传感器基于毛细管柱热式传感器，毛细管传感器管通过气体的热容量来测量其内部质量流量，气体的热量将热量从上游电阻温度检测器绕组带到下游绕组，二者都在传感器管的外部。

　　气流进入MFC后，分成两个内部流路：

　　条路径：流经加热的毛细管传感器管，该管的直径较小且长度较长。

　　第二条平行路径：通过分流旁路。

　　两条路径的流量比例取决于分流柱的设定，出厂前完成该设定。

　　设定完成后，通过毛细管柱传感器管和分流旁路的流量之比是恒定的。

　　毛细管传感器管通过气体的热容量来测量其内部质量流量，气体的热量将热量从上游电阻温度检测器绕组带到下游绕组，二者都在传感器管的外部。

　　需要预热：5min内达到95%流量精度，最长预热30min

　　基于热传导，MFC响应速度≤1s优点：由于其非接触式的结构，抗腐蚀，液体不损坏，过流不损坏。

　　MCL300是一款面向MFC300(气体质量流量控制器）的专用控制及显示仪表，可以同时控制及显示16台MFC300，可以对MFC进行流量、流量累积量的控制及显示。可以实现对气体流量的自动或手动输出和气体流量累积量的手动及循环输出，可以满足绝大部分用户对气体的流量及流量累积量操控要求。

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