EDX（Energy Dispersive Spectrometry）即能量色散X射线荧光光谱分析仪采用的X射线荧光光谱分析原理。

X射线荧光分析原理：

当样品中元素的原子收到高能X射线照射时，即发射出具有一定波长的特征X射谱线。特征谱线的波长与元素的原子序数（Z）有关，而与激发X射线的能量无关。所以测定谱线的波长，就可知道试样中含有什么元素（即定性分析）；测量谱线的强度，就可知该元素的具体含量（即定量分析）。

仪器工作原理：

仪器高压电源给光管提供管压和管流，光管激发出连续的X射线荧光光谱线（即原级X射线），原级X射线照射到样品上，样品产生具有样品特征的X荧光谱线，经过探测器后变成电压信号，信号经过放大和数据采集后传送给计算机，经软件处理后最终获样品的测量结果。

Fp镀层厚度测试原理：

如果考虑依次荧光，并将无限厚试样的荧光强度记为I∞，厚度为T的试样的荧光强度记为IT，则

其中IT为厚度为荧光强度，I∞为试样镀层相同材料无限厚试样的荧光强度。将IT/ I∞为纵坐标，而将K=exp（-µ*sρT）作为横坐标，绘制单镀层X荧光厚度曲线图下图示：

从上表也可以看出，X荧光测厚当镀层厚度达到一定厚度后，X光所测量的强度不再发生变化，这说明用X荧光测厚是有一定限制的，过厚的样品则视为无限厚样品。