美国Rtec非接触式光学轮廓仪/形貌仪
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• 美国Rtec公司的WLI非接触式光学轮廓仪测量系统沿着纵轴捕获一系列位置的光强数据。通过白光干涉图的形状，干涉图的局部相位或者是二者的结合来确定表面位置。本公司还有激光共焦，白光共焦，拉曼光谱仪等，可以把这些设备自由组合在一起，以实现客户的不同需求
  WLI有如下特点
  快速直观的操作
  较高的计算程序，精确的高测量速度和简便的操作软件，使用户能够快速的分析和创建报告
  多个物镜
  该WLI-1000 带有6物镜转轮，包括多个物镜：长焦，短焦，不同数值孔径，投射镜头等
  电子器件
  先进的控制器，低机械噪声，自校准系统，可选波长，64位并行处理器，标准分辨率达到1920*1920
  硬件
  WLI-1000能够被固定到全自动化的平台，高强度LED10年保修，高级精加工零部件，低能耗，远程访问，内置相机侧视图，有效照明等。
  软件
  三维虚拟软件
  影像分析
  多种标准，粗糙，平面，波浪以及其他表面参数
  微粒（粒子）和细孔分析
  力曲线分析
  附带傅里叶分析
  过滤
  用户界面报告的创建和编辑
  影像编辑特征-光，颜色等
  尺寸，表面积，体积，承载比分析
  纹理计算，分类，其他纹理分析
  光谱和分形分析
  先进的统计分析
  能够输出原始数据，影像，全部报告
  数个可用的附加功能
  参数：
  内校准
  4百万像素
  可选波长
  高强度长寿命LED
  1920*1920成像
  64位中央处理器
  低机械噪声
  并行处理
  6物镜转轮
  技术规格
  
  

  Vertical Resolution 垂直分辨率	0.1nm 0.1nm
  Turret 转轮	upto 6 objective turret (manual or automatic) 6镜头转轮（自动或手动）
  Scan Range 扫描范围	Up to 150mm x 150mm 最高达150mmx150mm
  Sample thickness 试样厚度	upto 100mm 最高达100mm
  FOV 视场	upto 10mm 最高达10mm
  Objectives 物镜	10x,50x 10倍，50倍
  Z focussing range Z轴方向聚焦范围	nm to 10mm 0.1nm到10mm
  Scanning area 扫描区域	150x150mm 150x150mm
  Tilt 倾斜角	+/- 7 degree +/-7度
  Rotation (theta) 平台旋转范围	360 Degree 360度
  Pixel 像素	Standard 1024 x 1024 标准1024x1024