电涡流式传感器可实现金属薄膜厚度的非接触式测量，核心原理是利用金属薄膜产生的电涡流强度与厚度的相关性，通过检测线圈阻抗变化换算厚度，适用于μm 级薄金属膜（如表面镀层、箔材）的测量，具体实现要点如下：

测量需采用反射式差分法或透射式法，反射式更适用于工业现场。将探头垂直正对基底（非导电材质如玻璃、陶瓷）表面的金属薄膜，基底需无电涡流效应，避免干扰。金属薄膜越厚，产生的电涡流越强，探头线圈阻抗变化越显著，输出信号与薄膜厚度在一定范围内呈线性关系。通过预先绘制的校准曲线，即可将信号值换算为厚度值。

测量的关键限制是厚度范围，仅适用于厚度≤50μm 的金属薄膜。当薄膜过厚（超过电涡流渗透深度），电涡流强度不再随厚度增加而变化，传感器无法区分厚度差异。此外，需保证薄膜材质均匀、表面平整，且探头与薄膜的平行度偏差≤5°，避免磁场耦合不均引入误差。

校准环节需使用与被测薄膜材质、基底完全一致的标准厚度样品，绘制厚度 - 信号校准曲线。放大器带宽选择 10~100kHz，兼顾测量灵敏度与抗干扰能力。该方法精度可达 0.1μm，适用于半导体晶圆金属镀层、精密器件表面镀膜等场景的厚度检测。