电感耦合等离子体质谱的原理是从10000K高温的等离子体中通过接口提取离子进入真空度约为10-6Torr的质谱仪。样品以液体气溶胶(在激光烧灼中是固体颗粒)形式被引入，在等离子体被电离，在此区域基体和待测元素的离子被引入质谱仪进行分离，最后由离子检测系统进行检测。这一原理使得ICP-MS具有较好的同位素分析的选择性和灵敏性。但也因此存在其自身的弱点，样品是“流人”质谱仪，而不是像火焰AAS和ICP -AES那样“通过”激发源。这意味着产生热的问题、腐蚀、化学侵蚀、堵塞、基体沉淀和漂移的可能性都比其它原子谱仪器要高得多。

然而只要充分认识到这一事实，对仪器组件定期检查可以减轻甚至消除这些潜在的问题。需要定期或半定期检查和维护的主要区域是：进样系统、等离子体炬管、接口区域、离子光学系统、机械泵、空气过滤器和循环水过滤器。

ICP矩管维护保养对于ICP矩管，特别是使用次数较多的矩管，矩管内壁会不断累积样品，导致检测过程出现残留效应，需要定期进行更换清洗。清洗矩管过程中，必须按照厂家手册操作对ICP矩管进行拆卸清洗，清洗完毕安装时必须保证各气路与矩管相接的部分具有良好的气密性。

对于年限较长的ICP-MS，矩管部分的连接处气密性差，可以在原有垫圈的基础上再多加一个橡胶垫圈，并在矩管玻璃上缠一小圈耐高温生料带，保证电极针能够插入的足够深，以方便点火。