一、基本原理

　　桌面式扫描电镜利用电子枪发射出的电子束，经过电磁透镜聚焦和偏转系统的作用，形成一束能量较高、直径很细的电子探针。该电子探针在样品表面进行逐点扫描，电子束与样品相互作用，产生二次电子、背散射电子等信号。这些信号被探测器收集并转换为电信号，再经过放大和处理后，最终在显示器上显示出样品表面的微观形貌图像。

　　二、主要特点

　　紧凑的整体结构：将电子光学系统、真空系统、信号检测系统等集成在一个相对较小的机箱内，体积小巧，占用实验室空间小，便于安装和使用。

　　灵活的样品台：配备的样品台虽然尺寸较小，但通常具备多种运动功能，如平移、旋转、倾斜等，方便用户对样品进行不同角度和位置的观察。

　　中等分辨率：分辨率通常能够达到纳米级别，在3~10纳米左右，足以满足许多常规的材料微观结构观察和分析需求。

　　较低的加速电压：加速电压一般在1~30千伏之间可调，较低的加速电压可以减少电子束对样品的损伤，适用于对电子束敏感的样品。

　　三、应用领域

　　桌面式扫描电镜在材料科学、电子工业、生物医学以及教育教学等领域都有广泛的应用。例如，可用于观察金属材料的微观组织、陶瓷材料的晶粒结构、高分子材料的表面形貌等；在电子工业中，可用于检测芯片表面的缺陷、观察电路板上的焊点质量等。

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