三坐标测量仪可定义为一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传送讯号，三个轴的位移测量系统 ( 如光学尺 ) 经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标(X、Y、Z)及各项功能测量的仪器。三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度测量、定位精度测量、几何精度测量及轮廓精度测量等。任何形状都是由三维空间点组成的，所有的几何量测量都可以归结为三维空间点的测量，因此准确地进行空间点坐标的采集，是评定任何几何形状的基础。

三坐标测量仪的设备特点

1、核心零部件及软件全部*

2、单边活动桥式结构，显著提高运动性能，确保测量精度及稳定性

3、三轴导轨均采用高精密天然花岗岩，具有相同的温度特性及刚性

4、三轴导轨均采用自洁式预载荷高精度空气轴承，运动更平稳，导轨不受磨损

5、高速高精度自动控制系统，内嵌32位微处理器，真正实现实时控制；上下位采用光纤通讯，增强了电气抗干扰能力