X荧光光谱仪（XRF）由激发源（X射线管）和探测系统构成。X射线管产生入射X射线（一次X射线），激发被测样品，产生X荧光（二次X射线），探测器对X荧光进行检测。
X射线荧光光谱仪的核心结构为激发源和探测器，其中，激发源是激发元素产生特征X射线的构件，有带电粒子激发、电磁辐射激发、内转换现象和核衰变等方式，而常用的激发源是电磁辐射激发，探测器是将X射线荧光的能量和强度转化成一定形状和数量的电脉冲，实质上就是一个能量→电量的传感器，常用的探测器有正比计数器、闪烁计数器和半导体计数器。
优点有哪些？
1)分析时间短。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。
2)适用范围广。X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定 。
3)非破坏分析，重现性好。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。
4)X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。
5)分析精密度高。
6)制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
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