深冷处理依深冷处理温度的高低,分为普通冷处理(-60~-100℃)及超深冷处理 (-160~-300℃)二种。
钢材在淬火后，残留沃斯田铁量约在2％～30％之间。也有少到0.15％者与多到30％者，视钢种及淬火程度而异。残留沃斯田铁组织的存在是一种不安定的相，在钢材中其量越多硬度就越低，会因温度改变或加工时产生相变化而造成尺寸变化，因此减少残留沃斯田铁是相当重要的，但需使淬火冷却过程中沃斯田铁不产生安定化，而又需使麻田散铁量之生成增加，并提高淬火性或减少淬火变形，这些目标往往不易达成。因此在实际运用上则采回火与深冷处理等方法，互相搭配来达到消除残斯田铁之目的。但回火处理需在300℃以上方为有效，但又需考虑到回火软化现象，因此欲不使硬度下降而有效减少残留沃斯田铁，深冷处理是有效的。

利用低温处理程序，将组织微细化，消除残留的加工应力，使结晶组织排列整齐，来改善金属或其他材料的物理性质(机械性质)，有效提升工具、刀具或产品的使用寿命，提升质量与性能。

超深冷处理程序说明：
1. 降温程序：缓慢的降温，以0.5~0.7 ℉/min（8～12℃）速率降温，缓缓的将处理工件之内热吸出，温度降至-300℉。
2. 制程总时数：24~36Hr
3. 持温程序：长时间保持于-300℉(约-196℃)的环境中，依材料大小性质而异有8~12Hr持温时间。
4. 升温程序：缓慢的加热，以0.25~0.35℉/min（4～6℃）速率升温，回到常温后再加热至300℉(约150℃)。

超深冷处理的效果：
1. 耐磨耗性能提升
2. 组织键结安定化
3. 精密尺寸稳定化
4. 机械性质之恢复
5. 膨胀收缩之配合
6. 硬度均匀化分布
7. 消除残留之应力