低温灭菌方法是利用化学灭菌剂杀灭病原微生物的方法。化学药剂进行灭菌处理时所需温度较低，通常称为低温灭菌方法或化学灭菌方法。低温灭菌使用的化学消毒剂能够杀灭所有微生物，达到灭菌保证水平，这类具有灭菌作用的化学药剂有甲醛、戊二醛、环氧乙烷、过氧乙酸等。化学灭菌用于不能耐受高温、湿热材质类的器械的灭菌。
常用的低温灭菌方法有过氧化氢等离子低温灭菌、环氧乙烷灭菌、低温甲醛蒸汽灭菌等。
1. 过氧化氢等离子低温灭菌：
通过过氧化氢液体弥散变成气体状态后对物品进行灭菌，通过产生的等离子体进行第二阶段灭菌。等离子过程还可加快、*分解过氧化氢气体在器械和包装材料上的残留。等离子体灭菌法的特点为作用迅速、杀菌可靠、作用温度低、清洁而无毒性残留。适用于内镜、不耐热器材、各种金属器械、玻璃等物品；能吸收水分和气体。
2. 环氧乙烷灭菌：
环氧乙烷是一利无色气体，低浓度时无味。其气休穿透力强，可穿透玻璃纸、聚乙烯或聚氯乙烯薄膜等，对微生物的蛋白质、DNA、RNA产生非特异性的烷基化作用，使其失去新陈代谢的基本反应基而被杀灭，杀菌力强，杀面谱广，灭菌效果可靠，对灭菌物品损害较小等。
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