CVD管式炉使用过程中的注意的事项_产品说明_仪器仪表技术文献

CVD管式炉使用过程中的注意的事项

提供者：上海钜晶精密仪器制造有限公司发布时间：2024/12/9 16:30:06 阅读次数：86次进入该公司店铺

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CVD管式炉使用中应注意的事项：

1.冷炉使用时，由于管式炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不易过快，各温度段的升温速率差别不易太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉管。

2.定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好，应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。

3.炉膛若采用石英管，当温度高于1000℃时，石英管的高温部分会出现不透明现象，这叫失透是连熔石英管的一个固有缺陷，属正常现象。

4.CVD管式炉*使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。