快速热处理退火炉-一款红外线灯管加热的快速热处理退火炉

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高精度恒温加热台，高精度热板，高温wafer热板，半导体用氮气烘箱，可编程充氮烘箱，水冷超低温试验箱，机械式-150度低温试验箱

快速热处理退火炉，半导体RTP快速退火炉简介

快速退火炉（RTP）近年来得到越来越广泛的应用。可用于硅及其他化合物材料离子注入后的退火，硅化物形成，欧姆接触制备以及快速氧化，快速氮化等方面。该设备具有很好的长时间工作稳定性以及快速升降温，慢速升降温功能，采用三回路闭环温度控制，精确的温度控制部件可适用于特殊工艺要求，工艺重复性高，也可用于铁电膜的制备以及各种半导体材料CVD的热处理。

JS-RTP系列快速热处理退火炉为我公司根据客户需求业定制的热处理设备，半导体RTP快速退火炉主要用于：快速烧结、快速退火等工艺。具有：温度均匀、控制稳定等特点，触摸屏操作方式（设备小巧，节约空间）。

快速热处理退火炉，半导体RTP快速退火炉主要技术参数

1、外型形式：台式

2、样品尺寸：2-8英寸

3、外部炉膛：合金镀金炉膛

4、内部炉膛：优质石英材质、可拆下清洗，有进、出气接口

5、加热材质：红外线灯管加热

6、显示：触摸屏或电脑式

7、高温度：1000℃（恒温时间：≤600S）

8、控温精度：±5℃

9、升温速率：10℃-50℃/S可调

10、降温速率：10℃-50℃/S不可调

11、降温方式：水冷（冷水机或冷水管道＋气冷）

12、工艺气体：三路，一路氮气、一路空气、一路氧气，配备质量流量计，气体流量自动调节

13、真空度：可达0.05torr（可选配）

14、真空系统：进口无油真空泵

15、保护系统：超温保护，流量保护，计时控制，缺水报警等。

上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能、航空航天等行业；多年来，公司以“真挚的服务、优秀的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务！

主要业务项目有HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜加工设备，黑蒜发酵设备，环境检测仪器，实验室研究仪器，橡塑检测仪器，电缆检测仪器设备，半导体工艺设备，力学检测仪器，通讯检测仪器，常规检测仪器等。