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光刻胶/抗蚀剂_导电胶_耐刻蚀胶

提供者:厦门良厦贸易有限公司   发布时间:2024/1/31 19:48:00  阅读次数:2731次  进入该公司店铺

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石**
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光刻胶是一大类具有光敏化学作用(或对电子能量敏感)的高分子聚合物材料,是转移紫外曝光或电子束曝照图案的媒介。光刻胶的英文名为resist,又翻译为抗蚀剂、光阻等。广泛应用于集成电路(IC),封装(Packaging),微机电系统(MEMS),光电子器件光子器件(Optoelectronics/Photonics),平板显示器(LED,LCD,OLED),太阳能光伏(Solar PV)等域。

德国ALLRESIST公司是从事光刻用电子化学品研发、生产和销售的业公司,有丰富的经验和的传统。可以为您提供各种标准工艺所用的紫外光刻胶,电子束光刻胶(抗蚀剂)以及相关工艺中所需要的配套试剂。

产品类型:

1.紫外光刻胶(Photoresist)

各种工艺:喷涂用胶,化学放大胶,lift-off胶,图形反转胶,高分辨率胶,LIGA用胶等。

各种波长: 深紫外(Deep UV)、I线(i-line)、G线(g-line)、长波(longwave)曝光用光刻胶。

各种厚度: 光刻胶厚度可从几十纳米到上百微米。

2. 电子束光刻胶(电子束抗蚀剂)(E-beam resist)

电子束正胶:PMMA胶,PMMA/MA聚合物, LIGA用胶等。

电子束负胶:高分辨率电子束负胶,化学放大胶(高灵敏度电子束胶)等。

3. 特殊工艺用胶(Special manufacture/experimental sample)

电子束曝光导电胶,耐酸碱保护胶,全息光刻用胶,聚酰亚胺胶(耐高温保护胶)等特殊工艺用胶。

4. 配套试剂(Process chemicals)

二、ALLRESIST产品介绍
1、ALLRESIST AR-P 5300剥离技术光刻胶系统
①AR-P 5300系列的正型光刻胶用于通过剥离技术生产底切结构(剥离),以生产气相沉积图案,尤其是金属。底切轮廓是在通常的光刻工艺中获得的,而无需额外的技术,时间和能源消耗。
②该抗蚀剂的特征在于对光的高灵敏度,的分辨能力以及对金属和氧化物表面的良好粘附性。它们包含在加热板上和对流烤箱中正常回火期间会硬化抗蚀剂表面的成分。
③抗蚀剂结构的底切在碱性水溶液显影期间形成。虽然AR-P 5350在1-2μm的标准层厚度范围内使用,但新开发的抗蚀剂AR-P 5320也可用于创建5-10μm的剥离结构。
④抗蚀剂由安全溶剂-溶剂混合物中的酚醛清漆-萘醌二叠氮化物-与主要成分1-甲氧基-2-丙基-乙酸酯组成。

2、ALLRESIST光阻AR-BR 5400
①先,涂覆PMMA共聚物AR-BR 5400。
②然后将光致抗蚀剂AR-P 3510施加到退火的共聚物层上。
③可以以碱水溶液的方式显影两层浮渣系统。将抗蚀剂溶解在更安全的溶剂-溶剂混合物中。
④AR-BR 5400抗蚀剂是基于甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸的共聚物,主要成分为1-甲氧基-2-丙醇。
⑤AR-P 3510是一种线型酚醛清漆-萘醌二叠氮化物的组合,主要存在于乙酸1-甲氧基-2-丙酯中。

3、ALLRESIST产品电子束抗蚀剂AR-PC 5090和AR-PC 5091(Electra 92)
①保护涂层AR-PC 5090和AR-PC 5091(Electra 92)是导电保护涂层。
②它们的功能是创建薄的导电层。
③AR-PC 5090设计用于PMMA-E-Beam,CSAR 62和HSQ抗蚀剂,而AR-PC 5091可与基于Novolak的E-Beam抗蚀剂一起使用。两者都主要用于导出电子辐射产生的电荷。

④抗蚀剂通过旋涂施加。取决于旋转速度,所得层厚度为30-80 nm,喷砂后用去离子水去除该层。这些解决方案的保质期超过一年。

显影液、除胶剂、稀释剂、增附剂(粘附剂)、定影液等。

产品特点


1. 光刻胶种类齐全,可以满足多种工艺要求的用户。

产品种类包含:各种厚度的紫外光刻胶(正胶或负胶),lift-off工艺用胶,LIGA用胶,图形反转胶,化学放大胶,耐刻蚀保护胶,聚酰亚胺胶,全息曝光用胶,电子束光刻胶(包含PMMA胶、电子束负胶、三维曝光用胶(灰度曝光用胶)、混合曝光用胶等)

2. 光刻胶包装规格灵活多样,适合各种规模的生产、科研需求。


包装规格包含:250毫升、1升、2.5升等常规包装,还提供试验用小包装,如30毫升、100毫升等。


3. 交货时间短。

我们每个月20号左右都会向德国厂商下订单,产品将于第二个月中旬到货,您可以根据实际情况,合理安排采购时间。具体的订购情况,请联系我们的销售人员。


4. 可以提供高水准的技术咨询服务,具有为客户开发、定制特殊复杂工艺用光刻产品的能力


5. 储存条件:

密闭储存在容器中并置于避光、干燥阴凉、通风良好之处。

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