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北京瑞邦精控气浮转台的应用

提供者:北京瑞邦精控科技有限公司   发布时间:2020/1/8 20:08:59  阅读次数:241次  进入该公司店铺

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刘**
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北京瑞邦精控气浮转台是设法把转轴在空气中悬浮起来,并可以稳定地高精度的旋转,这种悬浮是轴承腔内导入的空气压力来实现的,泄压的缝隙特别小,转动轴的悬浮。高速度,高精度,无摩擦力,无磨损,不需要润滑油,有的速度控制性能,无噪音。正因为气浮转台有这么多优点,现在越来越多高精度的应用域用气浮轴承来取代普通的机械轴承。

产品特点

1. 闭式气浮轴承结构

2. 直驱驱动,零齿槽效应

3. 高速度稳定性

4. 复定位精度±0.5角

5. 纳米跳动误差

6. 无污染,寿命长

应用域

1. 精密计量:圆度、垂直度、平面度、同心度、圆柱度的计量

2. 空间模拟装置

3. 三坐标仪

4. 低速伺服转台

5. 精密仪器轴承:圆度仪、摩擦力矩仪等

6. 光学测试等

密封式设计

对QFR直驱气浮转台进行了优化设计,使工作台面降低,这种设计结构有效的降低了工作点的高度,减少因与其他轴叠层引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重,不仅有较低的轴向和径向端跳误差,而且倾角误差比较小,由此产生的面误差明显优于其它气浮转台或气浮主轴,有利于各种应用。

非接触式结构

采用无齿槽无刷电机和气浮轴承,提高了定位性能。电机采用磁路设计,以小的热量产生高扭矩输出,无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,这使得QFR非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用。

高精度性能

气浮转台采用精密圆光栅反馈,驱动控制对光栅栅距细分,分辨率达0.01角,轴向跳动误差<80nm。

定制化设计

气浮转台可安装滑环,用于空间模拟装置,MEMS和惯性导航等应用。

规格指标

型号

QFR-100

QFR-200

QFR-300

行程(deg)

360°连续转动

台面直径(mm)

100

200

300

定位精度

(arcsec)

±2

重复定位精度

(arcsec)

±0.5

速度(rpm)

300

轴向跳动(nm)

60

80

径向跳动(nm)

100

分辨率(arc-sec)

0.5

摆动(urad)

3

负载(Kg)

50

工作气压(MPa)

0.5±0.05

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