提供者:北京瑞邦精控科技有限公司 发布时间:2020/1/8 20:08:59 阅读次数:241次 进入该公司店铺

产品特点
1. 闭式气浮轴承结构
2. 直驱驱动,零齿槽效应
3. 高速度稳定性
4. 复定位精度±0.5角
5. 纳米跳动误差
6. 无污染,寿命长
应用域
1. 精密计量:圆度、垂直度、平面度、同心度、圆柱度的计量
2. 空间模拟装置
3. 三坐标仪
4. 低速伺服转台
5. 精密仪器轴承:圆度仪、摩擦力矩仪等
6. 光学测试等
密封式设计
对QFR直驱气浮转台进行了优化设计,使工作台面降低,这种设计结构有效的降低了工作点的高度,减少因与其他轴叠层引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重,不仅有较低的轴向和径向端跳误差,而且倾角误差比较小,由此产生的面误差明显优于其它气浮转台或气浮主轴,有利于各种应用。
非接触式结构
采用无齿槽无刷电机和气浮轴承,提高了定位性能。电机采用磁路设计,以小的热量产生高扭矩输出,无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,这使得QFR非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用。
高精度性能
气浮转台采用精密圆光栅反馈,驱动控制对光栅栅距细分,分辨率达0.01角,轴向跳动误差<80nm。
定制化设计
气浮转台可安装滑环,用于空间模拟装置,MEMS和惯性导航等应用。
规格指标
型号 | QFR-100 | QFR-200 | QFR-300 |
行程(deg) | 360°连续转动 | ||
台面直径(mm) | 100 | 200 | 300 |
定位精度 (arcsec) | ±2 | ||
重复定位精度 (arcsec) | ±0.5 | ||
速度(rpm) | 300 | ||
轴向跳动(nm) | 60 | 80 | |
径向跳动(nm) | 100 | ||
分辨率(arc-sec) | 0.5 | ||
摆动(urad) | 3 | ||
负载(Kg) | 50 | ||
工作气压(MPa) | 0.5±0.05 | ||
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