氦质谱检漏仪日常维护

　　1、定期更换灯丝，清洗冷规。

　　2、定期更换机械泵油，适时对机械泵加油。

　　3、如加液氮，需定期清洗冷阱。

　　4、拆卸氦质谱检漏仪部件后，安装时要避免安装处出现泄漏。

　　5、适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗，排除漏点。

氦质谱检漏仪换灯丝步骤

　　当冷规指针已过1×10^-2Pa，按灯丝启动，灯很亮，发射电流无指示，量离子源插头①②足不通，即为灯丝断，灯丝寿命一般正常使用为1至3个月。

　　1、停机换灯丝：可直接取下离子源更换灯丝，装好后按正常开机步骤进行。

　　2、不停机换灯丝：关冷规，关抽速阀，取离子源插头，取下离子源，更换灯丝后装上离子源，插离子源插头，此时“加速电压”示值不应有变化，“发射电流”示值应为零。如其中有一示值与上不符，则是离子源内有短路，应取下排除。将阀开关由“前置”转向“粗抽”(注意：阀开关在“粗抽”的时间不要超过五分钟)，全开节流阀，等真空抽上后，关闭节流阀，将“粗抽”转向“前置”，开抽速阀，开冷规，等真空过1×10^-2Pa后可启动灯丝，调氦峰。

　　氦质谱检漏仪灯丝安装时应先将离子源内的污渍用细砂纸打干净，清洗后再装。灯丝应正对电离盒电子入口，尽量靠近电离盒，但不能短路，三根引线间也不能相互短路。