高端的超声波扫描显微镜不仅速度快/、精度高，而且使用寿命长；它与低端机型到底有什么区别呢？

性能参数	KSI v400E （磁悬浮式线性电机）	丝杆步进电机
扫描电机 设计寿命	20年	5年
扫描速度	2m/s	0.5m/s
加速度	3g	1g
发热量	无摩擦，不发热	靠齿轮驱动，摩擦力大，用手触摸点击烫手
重复精度	±0.1um	±0.5um
相同速度下噪音	非常小	刺耳
适用领域	产线检测，速度快，效率高，高端	适用于小批量抽检，不求效率，价格便宜

超声波显微镜在其它领域的应用：

在失效分析中的应用

• 晶圆面处分层缺陷
• 锡球、晶圆、或填胶中的开裂
• 晶圆的倾斜
• 各种可能之孔洞（晶圆接合面、锡球、填胶…等）

在失效分析中的优势

• 非破坏性、无损检测材料或IC芯片内部结构
• 可分层扫描、多层扫描
• 实施、直观的图像及分析
• 缺陷的测量及缺陷面积和数量统计
• 可显示材料内部的三维图像
• 对人体是没有伤害的
• 可检测各种缺陷（裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等）

应用领域

• 半导体电子行业：半导体晶圆片、封装器件、大功率器件IGBT、红外器件、光电传感器件、SMT贴片器件、MEMS等;
• 材料行业：复合材料、镀膜、电镀、注塑、合金、超导材料、陶瓷、金属焊接、摩擦界面等；
• 生物医学：活体细胞动态研究、骨骼、血管的研究等.