精密测量技术的发展方向：非接触、高效率测量_技术交流_仪器仪表技术文献

精密测量技术的发展方向：非接触、高效率测量

提供者：江苏天瑞仪器股份有限公司发布时间：2018/10/16 7:59:32 阅读次数：4644次进入该公司店铺

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陈**

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近年来，精密测量技术发展迅速，成果喜人。例如在线测量技术，已可进行加工状态的实时测量与显示，及时检测加工是否出现异常状况，从而可大幅度提高生产效率。

在高精度加工和质量管理过程中，随着光机电一体化、系统化的发展，光学测量技术有了迅速发展，相应的测量机产品大量涌现，测量软件的开发也日益受到重视。

近年来，利用光学原理开发的非接触测量机及各种装置非常多。如MARPOSS公司的非接触式工具测量系统MidaLaser就是采用激光测头的新型测量机，该机可在CNC机床保持运转的情况下自动对所有工具进行非接触测量，并可根据测得值对工具进行自动定位。索尼精密工程公司的非接触形状测量机YP20/21也是利用半导体激光高速高精密自动聚焦传感器的形状测量机，所有刻度尺均系标准元件，传感器和载物台均由微型计算机控制，具有优异的操作性能和数据处理功能。YKT公司销售的非接触三坐标测量系统Zip250是一种高刚性、高速、高精密的新型测量机。该机载物台的承载量为25kg，刻度尺的分辨力（X、Y、Z轴）均为0.25μm。机上装配了带数码法兰盘的CCD摄像机和最新DSP处理器，因此可进行高速图像处理测量，同时也可与接触式测头并用进行相关测量。

随着非接触、高效率测量机的大量出现，专家预计，21世纪测量技术的发展方向大致如下：

（1）测量精度由微米级向纳米级发展，测量分辨力进一步提高；
（2）由点测量向面测量过渡（即由长度的精密测量扩展至形状的精密测量），提高整体测量精度；
（3）随着图像处理等新技术的应用，遥感技术在精密测量工程中将得到推广和普及；
（4）随着标准化体制的确立和测量不确定度的数值化，将有效提高测量的可靠性。